Мулти-ПВД танкослојна опрема

Индустријски више-лучни ПВД ​​систем користи високо-јонизацију катодног лука физичког таложења паре за наношење густих, стехиометријских тврдих премаза (као што су ТиН, ТиАлН, ЦрН и ДЛЦ) на металне подлоге. Дизајниран за-центре за наношење уговорних премаза великог обима и производне линије у затвореном простору, овај систем оптимизује отпорност на хабање, смањење трења и термичку стабилност за прецизне компоненте.

Извори филтрираног катодног лука:Магнетно филтрирање минимизира стварање макрочестица (капљица), дајући глаткију завршну обраду површине (Ра < 0,1 ум).

Конфигурација магнетног неуравнотеженог{0}}затвореног поља: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Двострука{0}}регулација протока гаса:Управљање повратном спрегом у затвореној{0}}петљи помоћу манометара капацитивности и високо{1}}прецизних МФЦ за реактивне гасове (Н2, Ц2Х2, О2).

Извори модуларног таложења:Заменљиви равни и цилиндрични распореди омогућавају брзо пребацивање циљева за више{0}}слојне архитектуре.

Пумпа за грубу обраду:Механичка подлога са лопатицом или сувим завртњем за елиминисање повратног тока уља.

Високо вакуумска пумпа: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 Л/с) упарен са роотс дуваљком.

Заптивање и вентили:Пнеуматски засуни, ИСО-Ф/ЦФ прирубнице са Витон/металним заптивкама; Брзина цурења хелијум масеног спектрометра < 1 к 10^-9 Па*м^3/с.

Праћење притиска:Комбиновани мерачи јонизације Пирани и хладне катоде.

Стандардне катодне мете:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Материјали подлоге:Цементирани карбиди (ВЦ-Цо), ХСС, легирани челици (СКД11, 40Цр), легуре титанијума (Ти-6Ал-4В) и нерђајући челик (304, 316Л).

Пре{0}}третман:Захтева ултразвучно одмашћивање и ин{0}}нагризање аргон плазма јоном (Ар+ бомбардовање) да би се елиминисали површински оксиди пре таложења.

Алати за сечење и обликовање:Завршне глодалице, глодалице и уметци обложени ТиАлН/ТиН за продужење века алата за 200% - 400% под сувом обрадом.

Аутомобилске компоненте:Клипни прстенови, клинови ињектора и точкићи обложени ЦрН/ДЛЦ за смањење граничног трења и хабања.

Медицински уређаји:Ортопедски шрафови, хируршка сечива и зубни упорници који користе ТиН/ЗрН за биокомпатибилност и отпорност на корозију.

Индустријски хардвер:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 ХВ).

Величина коморе:Прилагођени унутрашњи пречници и профили висине прилагођени специфичним количинама серије или великим обрадацима.

Изглед катоде:4 до 12 конфигурабилних утора извора лука позиционираних симетрично да би се обезбедила дистрибуција дебљине унутар +/- 8%.

Интеграција пристрасности:Опциона хибридна интеграција-пулсног магнетронског распршивања велике снаге (ХППМС) уз стандардне изворе катодног лука.

аутоматизација:Интеграција са аутоматизованим утоварним рукама и СЦАДА системима за извршење производње.

Инспекција материјала:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Структурно испитивање:ЦММ провера димензија комора и испитивање хидростатичким притиском расхладних канала.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):Тест рада у трајању од 72-континуирано суво-који покрива механичку ротацију, криве пумпања и термичку стабилност.

Верификација премаза:Тест купони су процењени путем-на-испитивања истрошености диска, Роцквелл удубљења и ФЕСЕМ анализе дебљине попречног пресека.

Припрема локације:Детаљна инжењерска документација за ограничења подног оптерећења, брзине протока расхладне воде и захтеве за електричне сабирнице.

Пуштање у рад:Инсталација{0}}на лицу места, калибрација вакуума и примопредаја рецептура основног процеса од стране инжењера на терену.

Обука оператера:Структурирани програми који покривају рутинско одржавање, замену мета, тражење цурења и основно решавање проблема са ПЛЦ-ом.

Подршка животног циклуса:Интеграција удаљеног дијагностичког интерфејса за-записивање параметара у реалном времену и брзу изолацију кварова.