Мулти-систем за јонско таложење

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% јонизација чврстог катодног материјала, што доводи до-бомбардовања високоенергетским јонима у интерфејс супстрата за супериорну адхезију филма у поређењу са магнетронским распршивањем.

Вакуумска комора од нерђајућег-од нерђајућег{1}}челика са дуплим зидовима- садржи модуларне изворе лука и ПЛЦ-контролисану аутоматизовану пумпу за управљање циклусом-доле,-нагризање плазмом на лицу места, испоруку реактивног гаса и више-слојно таложење.

Висока стопа јонизације:Минимизира раслојавање филма густим јонским бомбардовањем.

Контролисана стабилност лука:Програмабилни окидачи и регулација струје затворене{0}}петље сузбијају стварање макрочестица (капљица) и спречавају тровање циља под реактивним гасовима (Н2, Ц2Х2, О2).

Модуларни извори лука:Постављање са стране и врата прилагођава се сложеним 3Д геометријама алата за равномерну дистрибуцију дебљине.

Импулсна пристрасност супстрата:Синхронизовани импулси напона прилагођавају заостали напон, префињеност зрна и микротврдоћу.

Фазе ротације{0}}за тешке услове рада:Планетарни уређаји подржавају серијска оптерећења до 500 кг под високим термичким и вакуумским оптерећењима.

Роугхинг & Роотс:Више-вишестепене суве вијчане пумпе упарене са Роотс дуваљкама спречавају контаминацију угљоводоницима све до прелазних притисака.

Високи вакуум:Турбомолекуларне или дифузионе пумпе издржавају ултра{0}}висок базни притисак.

Хватање и мерење:Опционе хладне замке течног азота; комбиновани мерачи-Пирани/Хладна катода.

Катодне мете:Чисти метали (Ти, Цр, Ал, Зр, Мо, В) и мете од легура (ТиАл, ТиСи, ЦрАл, ВЦ-Цо).

Материјали подлоге:Брзорезни челик (ХСС), карбидни уметци, челици за алате за хладну/врућу обраду (СКД11, Х13), нерђајући челик и легуре титанијума.

Пре{0}}третман:Водено ултразвучно чишћење праћено-ин ситу Ар+ или бомбардовањем металним јонима ради уклањања природних оксида.

Алати за сечење:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >3000 ХВ површинска тврдоћа и отпорност на оксидацију.

Калупи и калупи:Заштитни слојеви на калупима за ињектирање и калупима за штанцање да би се спречило нагризање и абразивно хабање.

Аутомобили:ДЛЦ и ЦрН премази на клипним прстеновима, зупчаницима и клиновима ињектора за смањење коефицијената трења.

Медицински уређаји:Биокомпатибилни ТиН/ТиЦН премази на хируршким инструментима и имплантатима.

Димензије коморе и изглед прикључка:Прилагођени портови за контролу запремине и оптичке емисије (ОЕМ).

Генератори:Кориснички{0}}брендови извора напајања или специјализоване пулсне{1}}конфигурације преднапона.

Филтрирање:Магнетна управљачка поља и филтери за макрочестице за оптичку/електронску завршну обраду без{0}}капљица.

аутоматизација:СЦАДА интеграција и повезивање СКЛ базе података за евиденцију података Индустрије 4.0.

Тестирање цурења:Испитивање масеног спектрометра хелијума на свим завареним спојевима (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

електрична безбедност:Отпор изолације, уземљење и верификација блокаде према ЦЕ/НФПА стандардима.

Функционално трчање на суво:72-часовни континуирани механички тест и тест циклирања вентила.

Процес верификације:Референтно тестирање купона за тврдоћу наноиндентирања и приањање на огреботине.

Пре{0}}инсталација:Нацрти распореда комуналних услуга су обезбеђени за струју, воду, издувне гасове и компримовани ваздух.

Пуштање у рад:Подешавање{0}}на сајту и пробно покретање под надзором фабричких инжењера.

Обука:Практични{0}}обуци за рад, замену катоде и рутинско одржавање.

Нега животног циклуса:Сигурна ВПН даљинска дијагностика и локална набавка резервних делова.