Преглед производа
Опрема за танкослојну евапорацију са потпомогнутом јоном ИАЕ-Серије{1}} интегрише физичко таложење паре (ПВД) са бомбардовањем снопом јона у реалном-времену. Усмеравањем енергетских јона на супстрат током испаравања топлотног или електронског-снопа, систем преноси замах кондензационим адатомима, реструктурирајући микроструктуру растућег филма.
Овај пренос кинетичке енергије елиминише шупљине у стубовима, потискује апсорпцију влаге и закључава индекс преламања од промене влажности околине. Направљена за континуирани рад у више-смена у оптичким и полупроводничким производним линијама, платформа ради са подлогама у распону од-ласерске оптике високе прецизности до силицијумских плочица.
-
![Опрема за вакуумско испаравање са јоном{0}}]()
Опрема за вакуумско испаравање са јоном{0}}Систем за вакуумско испаравање са јонским{0}}потпомогнутим ионима интегрише изворе испаравања високог -вакума или електронских- извора испаравања са Кауфмановим-типом или Енд{4}}Халовим јонским...Pogledajte više -
![Систем за таложење танког филма уз помоћ јона{0}]()
Систем за таложење танког филма уз помоћ јона{0}Систем за таложење танког филма уз помоћ јона интегрише више-џепних електронских-снопова/термално испаравање са извором јона високих-Енд-Халов или Кауфманов{5}} типова високих перформанси. Током...Pogledajte više -
![Опрема за испаравање потпомогнута јонским снопом]()
Опрема за испаравање потпомогнута јонским снопомИБАЕ систем комбинује електронски-сноп или термичко испаравање са интегрисаним -извором јона са широким снопом. Истовремено бомбардовање јонима током раста филма преноси кинетичку енергију...Pogledajte više -
![Опрема за таложење танког филма уз помоћ јона{0}]()
Опрема за таложење танког филма уз помоћ јона{0}Опрема за таложење танких филмова ИА-Серије-потпомогнута јонима интегрише термичко испаравање електронским-снопом са Кауфмановим или Енд-Халовим извором јона. Енергетско јонско бомбардовање...Pogledajte više -
![Систем танког филма уз помоћ јон{0}а потпомогнутог испаравања]()
Систем танког филма уз помоћ јон{0}а потпомогнутог испара...Систем танких филмова помоћу јонске{0}}испаравања (ИАЕ) интегрише физичко таложење паре (ПВД) са енергетским бомбардовањем јонским снопом. Током термичког или испаравања електронским-снопом,...Pogledajte više -
![Опрема за танкофилмско испаравање уз помоћ јона]()
Опрема за танкофилмско испаравање уз помоћ јонаСистем индустријског-јонског-потпомогнутог испаравања (ИАЕ) систем који интегрише испаравање више-џепних електронских-снопова са енергетским извором јонског снопа (Енд-Халова или Кауфманова...Pogledajte više
Техничке спецификације
|
Параметар |
Спецификација |
|
Крајњи основни притисак |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Извори испаравања |
Више-џепни Е- пиштољ (4 × 15цц до 40цц) и отпорни термални извори |
|
Тип извора јона |
Јонски извор -Халл/Кауфман{1}} типа без мреже (напон снопа: 50 – 1500 В, јонска струја: 0,1 – 3 А) |
|
Контрола дебљине филма |
Кварц кристална микровага (КЦМ) + оптички систем за праћење (ОМС), прецизност ± 0,1 нм |
|
Фиксирање подлоге |
Планетарни ротациони уређај, радијус куполе прилагођен геометрији подлоге |
|
Загревање подлоге |
Низ зрачећих грејача, до 350 степени са ± 2 степена ПИД униформности |
|
Цонтрол Арцхитецтуре |
ПЛЦ + индустријски ПЦ, аутоматизовано извршење рецепта, евидентирање података у складу са СЕЦС/ГЕМ |
Процес таложења уз помоћ јона{0}
Генерисање паре:
Материјал се испарава из е- лончића или термалног чамца при контролисаној брзини таложења (0,1 – 2,0 нм/с).
01
Пренос момента:
Енергетски јони (Ар⁺, О⁺) бомбардују површину супстрата истовремено са пристижућим флуксом паре из Е-снопа или термалног извора.
02
Модификација микроструктуре:
Удар јона побољшава покретљивост површине адатома, спречавајући раст зрна у стубовима и постижући скоро-насипну густину (густина паковања > 99%).
03
Корекција стехиометрије:
Помоћ реактивним јонима (О₂) обезбеђује потпуну оксидацију суб-оксида у филмовима металних оксида (нпр. Та₂О₅, Нб₂О₅, СиО₂), елиминишући апсорпционе траке у УВ-НИР спектру.
04
Филмски материјали
оксиди:
СиО₂, Та₂О₅, ТиО₂, Нб₂О₅, ХфО₂ (стабилност високог индекса преламања за оптичке филтере).
Флуориди:
МгФ₂, ЛаФ₃ (слојеви са ниским индексом преламања за широкопојасне АР премазе).
метали:
Ал, Аг, Ау, Ти (адхезиони слојеви и метални рефлектори).
Апликације
Ласерска и прецизна оптика:
Појасни филтери, дихроична огледала и ласерски заштитни премази који захтевају висок праг оштећења изазваног ласером (ЛИДТ) и нулти спектрални помак под термичким стресом.
ЛиДАР покривно стакло:
Издржљиви танки филмови против-рефлексије (АР) и против-прљања отпорни на јаке временске услове на отвореном.
Паковање полупроводника:
Инкапсулациони слојеви{0}}за баријеру и метални контактни јастучићи депоновани на ниским температурама подлоге.
Биомедицински сензори:
Биокомпатибилни премази за оптичке интерференције за дијагностичке микрофлуидне чипове.
Прилагођавање
Коморе и унутрашњи распореди су пројектовани према специфичним производним отисцима и захтевима процеса:
Димензије коморе:
Скалабилност од Р=600 мм Р&Д јединица до Р=1200 мм високих-производних система.
Пакети за пумпање:
Може се конфигурисати са Маглев турбомолекуларним пумпама, криопумпама и Роотс пратећим линијама за дуваљке на основу захтева за оптерећење гасом.
Интеграција извора:
Двоструке{0}}конфигурације извора јона или подешавања ко-ко{1}}коталожења за сложене легуре и више{2}}слојне градијентне филмове.
Ниво аутоматизације:
Интеграција са аутоматизованим системима за пренос супстрата у чистим просторијама (ЕФЕМ / Вацуум цлустер алати).
Контрола квалитета
Детекција цурења:
Свака вакуумска комора је тестирана на цурење-хелијума помоћу масеног спектрометра (брзина цурења < 1,0 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с).
Следљивост компоненти:
Вакумски вентили, регулатори масеног протока (МФЦ) и извори напајања од квалификованих Тиер-1 индустријских брендова (МКС, Инфицон, ПДВ).
Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):
Извршите{0}}тестове провере базног притиска, криве пумпања, стабилности извора и 24-континуалне издржљивости празне коморе пре испоруке.
Валидација метрологије:
Узорци су проверени спектрофотометром (трансмитанс/рефлексија) и микроскопијом атомске силе (храпавост површине Ра < 0,5 нм).
Инсталација и техничка подршка
Водич за припрему локације:
Свеобухватни захтеви за комуналне услуге обезбеђени пре испоруке (проток/притисак расхладне воде, компримовани ваздух у чистој просторији, дистрибуција струје, издувни вентил).
Пуштање у рад по систему кључ у руке:
Инжењери теренске службе се баве механичким састављањем, вакуумским печењем-, калибрацијом јонског снопа и потписивањем рецепта за почетни процес-одјављивањем- на лицу места.
Обука оператера:
Структурисана практична-обука која покрива рутинско одржавање, безбедност усисавања, рад софтвера и решавање проблема.
Подршка животног циклуса:
Даљински дијагностички интерфејс за брзо решавање проблема са софтвером; регионалне залихе предмета критичног хабања (филаменти, лончићи, штитови) испоручени у року од 48 сати.
ФАК
Добро смо-познати као један од водећих произвођача и добављача опреме за танке филмове помоћу јона{1}}у Кини. Ако ћете купити прилагођену опрему за танкослојну -потпомогнуту јонску евапорацију произведену у Кини, добродошли смо да добијете ценовник из наше фабрике. За консултације о цени, контактирајте нас.
