Преглед производа
Опрема за ПВД композитне танке филмове је индустријска платформа за вакуумско таложење пројектована за одлагање више-слојних, легираних и нанокомпозитних танких филмова. Интегришући магнетронско распршивање и изворе катодног лука унутар једне вакуумске коморе, систем омогућава прецизну контролу над микроструктуром филма, заосталим напоном и међуфазном адхезијом. Направљена за континуирану производњу и напредно истраживање и развој, платформа прихвата металне, керамичке и полимерне подлоге са скалабилном геометријом коморе.
-
![ПВД композитна опрема за вакуумско таложење]()
ПВД композитна опрема за вакуумско таложењеОва индустријска ПВД композитна платформа за вакуумско таложење интегрише више техника таложења у окружење једне коморе за депоновање униформних, више{0}}слојних металних, легираних или...Pogledajte više -
![ПВД хибридни систем за таложење танког филма]()
ПВД хибридни систем за таложење танког филмаПВД хибридни систем за таложење танког филма интегрише термичко испаравање, испаравање електронским снопом (е-беам) и РФ/ДЦ магнетронско распршивање унутар једне вакуумске архитектуре. Ова...Pogledajte više -
![ПВД више-опрема за танкослојну обраду]()
ПВД више-опрема за танкослојну обрадуПВД мулти-процесна опрема за танке филмове је интегрисана платформа за вакуумско таложење конструисана да комбинује више техника израде танких{1}}филмова—укључујући РФ/ДЦ распршивање магнета,...Pogledajte više -
![ПВД композитна опрема за таложење]()
ПВД композитна опрема за таложењеИндустријска ПВД опрема за таложење композита је пројектована за израду више-компонентних, више-слојних и нано-композитних танких{3} филмова. Систем интегрише термичко испаравање, испаравање е-...Pogledajte više -
![ПВД композитни систем танког филма]()
ПВД композитни систем танког филмаИндустријски{0}}систем вакуумског премаза који интегрише магнетронско распршивање (РФ/ДЦ/ХиПИМС) и испаравање катодног лука. Дизајниран за континуирано, више-слојно, легирано и нано-композитно...Pogledajte više -
![ПВД композитна танкослојна опрема]()
ПВД композитна танкослојна опремаПВД композитна танкослојна опрема је индустријска вакуумска платформа дизајнирана да синтетише више-слојне, легиране и класификоване танке филмове. Изграђен на модуларној архитектури од нерђајућег...Pogledajte više
Техничке спецификације
|
Параметар |
Спецификација Опсег |
|
Крајњи вакуумски притисак |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Радни притисак |
0,1 Па - 5.0 Па |
|
Температура подлоге |
Амбијент до 800 степени (ПИД контролише затворену{1}}петљу) |
|
Извори таложења |
Конфигурабилно: ДЦ/РФ Магнетрон распршивање, импулсни ДЦ, филтрирани катодни лук |
|
Уједначеност дебљине |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Материјал коморе |
Нерђајући челик 304Л/316Л, механички брушен и електро{2}}полиран (Ра<= 0.4 um) |
|
Интеграција напајања |
МФ генератори (10-100 кХз), РФ генератори (13,56 МХз), импулсни ДЦ биас |
|
Контролни систем |
Индустријски ПЛЦ + ИПЦ са аутоматизованим извршавањем рецепта, надзором блокаде и бележењем серијских података |
Процес наношења композита
Систем користи хибридну архитектуру физичког таложења паре која комбинује магнетронско распршивање и технологије катодног лука.
Синергија више-извора:
Симултани или узастопни рад више катода омогућава нагле или степеноване композиционе прелазе преко слоја филма.
Пре{0}}чишћење јонским јеткањем:
Фазе чишћења РФ или ДЦ плазмом уклањају природне оксиде и површинске загађиваче пре таложења како би се максимално повећала адхезија премаза-за-подлогу.
Контрола реактивног таложења:
Оптичка емисиона спектроскопија са затвореном{0}}петљом (ОЕС) регулише убризгавање реактивног гаса (О2, Н2, Ц2Х2) да би се одржала стабилна стехиометрија једињења и спречило тровање циља.
Померање подлоге:
Синхронизовани импулсни извори напајања бомбардују растући филм са високо{0}}енергетским јонима, згушњавајући микроструктуру и прилагођавајући заостало тлачно напрезање.
Филмски материјали
Опрема подржава широк спектар циљних материјала за прилагођене функционалне захтеве:
Нитриди и карбиди прелазних метала:
ТиН, ТиАлН, ЦрН, ЗрН, ТиЦН за отпорност на хабање и корозију.
Нанокомпозитни и вишеслојни системи:
ТиСиН, АлТиСиН, метални/керамички нанослојеви за екстремну тврдоћу и термичку стабилност при високим{0} температурама.
Транспарентни проводљиви оксиди (ТЦО):
ИТО, АЗО, ИГЗО за оптоелектронске и фотонапонске апликације.
Чисти метали и легуре:
Ти, Цр, Ал, Цу, нерђајући челик, НиЦр за слојеве баријере за електрични контакт и дифузију.
Апликације
Прецизни алати за сечење:
Наношење супер{0}}премаза са ниским-тврђењем (нпр. ТиАлН) на уметке од тврдог метала, бургије и крајње-глодалице ради продужења радног века под великим термичким оптерећењима.
Аутомобилске компоненте:
Фолије отпорне на -смањење и хабање- на клипним прстеновима, деловима за убризгавање горива и склоповима зупчаника.
Оптоелектроника и дисплеји:
Ниска{0}}отпорност, висока-пропустљивост проводних оксидних слојева за додирне панеле и подлоге за соларне ћелије.
Медицински уређаји:
Биокомпатибилни и{0}}отпорни премази на хируршким инструментима и ортопедским имплантатима.
Прилагођавање и конфигурација система
Инжењерске конфигурације су прилагођене специфичним ограничењима производних објеката и процесним рецептима:
Величина коморе:
Опције за цилиндричне или правоугаоне коморе у распону од Р&Д серијских система (пречника 500 мм) до великих-производних система-закључавања (1000 мм+).
01
Избор пумпе:
Одговарајуће коренске дуваљке, турбомолекуларне пумпе и криогене пумпе на основу потребних{0}}времених прекида рада пумпе и профила оптерећења гаса.
02
Фиксирање подлоге:
Прилагођене планетарне ротације, 3-сателит ротације 3-оси или модули од котрљања- дизајнирани за сложене 3Д геометрије или континуалне мреже.
03
Ниво аутоматизације:
Полу{0}}полуаутоматизоване конфигурације ручног пуњења или потпуно аутоматизовани системи вакуумског преноса са роботским руковањем супстратом.
04
Производња и контрола квалитета
Детекција цурења:
Свака вакуумска комора се подвргава тестирању цурења хелијум масеног спектрометра до прага од < 1 к 10^-10 Па * м^3 / с.
Инспекција заваривања:
Вакуум{0}}бочни завари су ТИГ заварени, брушени и полирани, након чега следи Кс-инспекција пенетрације помоћу рентгена или боје на захтев.
Електрична и безбедносна усклађеност:
Контролне плоче изграђене у складу са НФПА 79 или ЦЕ/ИЕЦ стандардима, са хардверским блокадама за проток воде, притисак гаса и електричну сигурност.
Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):
Тестирање пре{0}}отпремања обухвата 72-континуирано суво-циклирање у трајању од 72 сата, верификацију перформанси вакуума и пробно наношење премаза коришћењем рецепата које је одредио клијент.
Смернице за припрему локације:Свеобухватни документ са захтевима за објекте пружа детаљне интерфејсе за комуналне услуге (проток/притисак расхладне воде, електрично оптерећење, компримовани ваздух, издувни гас).
На-Пуштању у рад на локацији:Инжењери теренске службе врше механичко поравнање, проверу цурења вакуума, електричне везе{0}}и почетну калибрацију.
Подешавање рецепта процеса:-Сарадња на лицу места са клијентима металурзима и процесним инжењерима ради закључавања параметара дебљине циљаног филма, напона и тврдоће.
Подршка животног циклуса:Интерфејс за даљинску дијагностику, локализован инвентар резервних делова и планирани програми превентивног одржавања.
ФАК
Добро смо-познати као један од водећих произвођача и добављача опреме за танкослојне пвд композите у Кини. Ако ћете купити прилагођену пвд композитну опрему за танки филм направљену у Кини, добродошли да добијете ценовник из наше фабрике. За консултације о цени, контактирајте нас.
