Мулти-опрема за јонско таложење

Индустријски систем за више{0}}лучно јонско таложење генерише густе,-танке филмове високе адхезије кроз високо-нисконапонско испаравање катодног лука. Чврсти циљни материјали (катоде) се испаравају у реактивној гасној атмосфери (као што су Н2, О2 или Ц2Х2) да би се синтетизовале стехиометријске превлаке једињења. Конструисана за високе стопе јонизације које прелазе 80%, ова опрема даје изузетну снагу везивања филма-за-подлогу погодну за окружења са екстремним механичким оптерећењем.

Технологија магнетног филтрираног лука:Интегрисани магнетни калемови одбијају макро{0}}честице и капљице од тока супстрата, стварајући ултра-глатке површине-без капљица за прецизну оптику и алате за сечење.

Затворена{0}}Контрола протока гаса:МКС контролери масеног протока регулишу парцијални притисак реактивног гаса унутар +/- 0.1 прагова стабилности сццм током фаза реактивног таложења.

Управљање температуром подлоге:Програмабилне групе грејача са зрачењем у комбинацији са хлађењем гасом аргона са задње стране одржавају термални буџет супстрата између 150Ц и 600Ц.

Аутоматски процесни рецепти:Управљачка архитектура заснована на ПЛЦ-у-извршава више-протоколе депозиције од јонског чишћења, градијентног међуслојног гравирања до терминалног функционалног премаза.

Пумпа за грубу обраду:Комбинација Роотс вентилатора и механичке пумпе са лопатицом (основна линија Леиболд/Едвардс).

Високо вакуумска пумпа:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Процена и цевовод:Пнеуматски вентили од нерђајућег{0}}вакумског засуна, пнеуматски угаони вентили и еластомер-заптивене КФ/ИСО прирубнице на цурење-тестиране помоћу масене спектрометрије хелијума (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Праћење притиска:Комбиновани мерачи јонизације Пирани и хладне катоде који пружају-повратне информације у стварном времену преко атмосфере до ултра-опсега високог вакуума.

Циљни материјали:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Материјали подлоге:

• Цементирани карбиди (ВЦ-Цо)
• Брзорезни челици (ХСС)
• Легирани челици (СКД11, 316Л, 4140)
• Легуре титанијума (Ти-6Ал-4В)
• Инжењерска керамика и суперлегура{0}}отпорне на топлоту

Алати за сечење и обликовање:Наношење ТиАлН, АлЦрН и ТиЦН премаза на крајње глодалице, уметке, плоче за кување и калупе за штанцање ради повећања површинске тврдоће на 3200 ХВ и отпорности на абразивно хабање.

Аутомобилске компоненте:Таложење тврдог угљеника (ДЛЦ) и ЦрН на клипним прстеновима, иглицама за убризгавање горива и брегастим вратилима за смањење коефицијента трења испод 0,1 у условима рада на сувом.

Медицински имплантати:ТиН и ЗрН биокомпатибилни дифузиони премази на кобалт-хром и титанијум зглобовима колена и кука, минимизирајући испирање металних јона и стварање остатака од хабања.

Ваздушни хардвер:Превлаке отпорне на оксидацију-за лопатице турбина и склопове причвршћивача који раде на повишеним топлотним праговима.

Геометрија коморе:Вертикални тип -јаме, хоризонтални предњи-утовар или двострука-пролазна врата-кроз конфигурације прилагођене постојећим{4}}подовима продавнице.

Интеграција извора:Хибридне конфигурације које спајају изворе катодног лука са неуравнотеженим магнетронским распршивањем (Умс) катодама унутар једне коморе.

Јиггинг & Фиктурес:Наменски планетарни или двоструки{0}}окретни алати пројектовани путем ЦАД/ФЕМ симулације за специфичне геометрије компоненти (нпр. дугачке калупе за екструзију или сложени хируршки завртњи).

Стандарди управљања квалитетом:Дизајниран, произведен и тестиран према ИСО 9001:2015 системима управљања квалитетом и ИСО 14001 системима управљања животном средином.

Ваздухопловство и медицинска следљивост:Контроле процеса и протоколи документације у потпуности усклађени са захтевима НАДЦАП АЦ7102 (топлинска обрада/побољшање површине) на захтев.

Интегритет цурења:Свака вакуумска посуда се подвргава тестирању цурења хелијум масеног спектрометра пре потписивања{0}}састављања.

електрична безбедност:Високо{0}}тестирање отпора изолације и провере континуитета уземљења у складу са ЦЕ/ИЕЦ стандардима.

Покрени{0}}тестирање:Тестирање издржљивости механичких ротационих погона, прекидача протока за водено хлађење и ПЛЦ система за блокирање у трајању од 72-континуирано суво-

Испоручена документација:Сертификати о испитивању млина за материјал (МТЦ), сертификати о тестирању вакуумског цурења, пакети електричних шема и НИСТ-извештаји о калибрацији сензора који се могу пратити.

Смернице за припрему локације:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 м^3/х), распони температуре околине, издувна вентилација и падови електричне енергије (3-фазни, 380В/480В, 50/60Хз).

Услуге пуштања у рад:Механичко позиционирање-на лицу места, интеграција вакуумских цеви, електрично повезивање и оптимизација основног рецепта коју су извели стални виши инжењери сервиса на терену.

Обука оператера:5-дневна интензивна обука на лицу места која се бави рутинским одржавањем, решавањем проблема са вакуумом, протоколима замене мета и подешавањем параметара за специфичне структуре филма.

Инвентар резервних делова:Компоненте од критичног хабања (катодни изолатори, штитови од тамног простора, динамичке заптивке и низови филамената) се складиште на регионалном нивоу за отпрему у року од 48 сати.