Серија ЕБЕ-В600 је индустријска-платформа за физичко таложење паром (ПВД) дизајнирана за прецизно-превлачење танким филмом оптичких компоненти, полупроводничких уређаја и напредних материјала. Усмеравањем високо{5}}енергетског, магнетно фокусираног снопа електрона на изворне материјале унутар лонаца хлађених водом-, систем постиже брзе стопе испаравања уз задржавање топлотних оптерећења изолованих од зидова коморе.
Архитектура укључује више-џепне изворе електрона и сензоре микробаланса са двоструким кристалом кварца (КЦМ), обезбеђујући стехиометријску верност филма и доследну контролу дебљине у више-слојним диелектричним или металним слојевима.
Техничке спецификације
|
Тецхницал Параметер |
Специфицатион Валуе |
|
Геометрија коморе и материјал |
Φ600 мм к 600 мм цилиндрична посуда; СС304 електрополирана унутрашњост са спољним воденим јакнама за хлађење |
|
Крајњи основни притисак |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Испумпајте{0}}време циклуса |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Елецтрон Гун Повер |
6 кВ до 12 кВ конфигурација са више- џепова са отклоном снопа од 270 степени |
|
Капацитет огњишта Цруцибле |
4 до 6 џепова (заменљиве бакарне/графитне лонце, запремина од 15цц до 40цц по џепу) |
|
Ротација фазе супстрата |
Планетарни или директни погон променљиве брзине од 0 до 30 обртаја у минути |
|
Опсег загревања подлоге |
Амбијент до 600 степени преко ПИД-а са затвореном{1}}петљом низа халогених лампи |
|
Праћење дебљине |
Двоструки КЦМ сензори са аутоматском повратном контролом затварача |
Кључне карактеристике
Магнетни отклон од 270 степени Е-Пиштољ:Изолује волфрамову нит од директних путева паре, спречавајући кратко{0}}спајање и продужавајући радни век између интервала одржавања.
Дигитал Свееп Цонтрол:Програмабилни растерски обрасци равномерно распоређују енергију електрона по површини испаравања, ублажавајући стварање рупица и преференцијално испаравање током таложења легуре.
Раздвојена вакуумска архитектура:Линије за грубу обраду и високо{0}}вакуумске пумпе су структурално изоловане од оквира главне коморе да би се сузбио пренос механичких вибрација током раста филма.
Сигурносна матрица хардверских блокада:ПЛЦ праћење у-реалном времену протока воде за хлађење, повратне информације високог-напона, пнеуматског притиска и интегритета заптивке врата.
Конфигурација вакуумског система
Вакуумско под{0}}коло је пројектовано за брзи циклус и низак базни притисак како би се минимизирало инкорпорирање заосталог гаса (Х2О, О2, Н2) у филмове који расту:
Високо{0}}вакумска пумпа:1200 Л/с турбо-молекуларна пумпа подржана двостепеном-окретном лопатичном пумпом (или конфигурација суве спиралне пумпе за усаглашеност са чистом просторијом).
Изолациони вентил:Пнеуматски покретан запорни вентил високе{0}}проводљивости који изолује комору током операција оптерећења.
Мерење вакуума:Комбиновани мерачи јонизације Пирани и хладне катоде који покривају континуирани опсег од атмосфере до 10^-6 Па.
Филмски материјали и подлоге
Компатибилни извори испарења
Оксиди и диелектрици:СиО2, ТиО2, Та2О5, Ал2О3, ХфО2
чисти метали:Ау, Аг, Ал, Ти, Цр, Пт, Ни
Полупроводници и проводници:Си, Ге, ИТО (индијум калај оксид)
Апликације
Филтери оптичких сметњи:Висок{0}}индекс и низак{1}}вишеслојни-индекс са ниским индексом за наношење уско-филтара и ласерских огледала.
Израда полупроводничких уређаја:Формирање омског контакта, таложење оксида на вратима и слојеви семена метала.
Истраживање ОЛЕД-а и екрана:Таложење на танкој металној катоди и више-слојни тестови органске/неорганске пасивације.
Тврди ватростални премази:Заштитни слојеви{0}}отпорни на хабање за механичке и ваздухопловне компоненте.
Прилагођавање
Проширење коморе:Проширене висине посуда или правоугаоне геометрије прилагођене за интеграцију кластер алата.
Интеграција извора:Истовремени извори топлотног испаравања (отпорни чамци) у комбинацији са топовима са електронским снопом.
Ион{0}}потпомогнуто таложење (ИАД):Интеграција крајњег-Халовог или Кауфмановог јонског извора за згушњавање филма и подешавање напона.
Архитектура софтвера:ПЛЦ/ХМИ програмирање рецептура усаглашено са Сиеменс С7 или Бецкхофф оквирима за аутоматизацију.
Контрола квалитета
Масени спектрометар Испитивање цурења хелијума:Сваки коморни завар се тестира на праг одбацивања од < 1 к 10^-9 Па·м3/с пре интеграције.
Електрична усклађеност:Високо{0}}тестирање диелектричне отпорности и верификација континуитета уземљења према ЦЕ/УЛ смерницама.
Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):72-непрекидно суво-провођење теста у трајању од 72- сата, евидентирање основних кривих притиска, поновљивост покрета е-зрака и време одзива међублокирања. Тестна документација се испоручује са јединицом.
Инсталација и техничка подршка
Пуштање у рад локације:Фабрички{0}}сертификовани инжењери управљају механичким поравнањем, верификацијом цурења вакуума, надзором прикључка на струју и почетним калибрацијама.
техничка обука:3-дневна обука о протоколу рада и одржавања на лицу места која обухвата замену филамента, реконструкцију вакуумског вентила и уређивање рецептура.
Испоручена документација:Комплетна техничка повезивача укључујући П&ИД шеме, електричне дијаграме ожичења, ПЛЦ фајлове резервних копија и резервне делове.
Често постављана питања
П: Колики је радни век волфрамовог филамента е-пиштоља и како се сервисира?
О: Под стандардним радним притисцима (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
П: Како систем спречава пљување током таложења оксида?
О: Дигитални свееп генератор дистрибуира енергију електрона преко израчунате растерске матрице на оксидној куглици. Ово елиминише локализовано прегревање, спречава експлозивно кључање и потискује избацивање микро-капљица.
П: Која комунална инфраструктура је обавезна на месту постављања?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 Л/мин, температура од 18 до 25 степени.
Електрична мрежа: 3-фаза, 380В ± 10%, 50/60 Хз (или фабрички конфигурисана према регионалним стандардима).
Компримовани ваздух: 0,5 МПа до 0,7 МПа суви ваздух за пнеуматске актуаторе вентила.
П: Да ли је даљински дијагностички приступ интегрисан у контролни систем?
О: Да. Изоловани Етхернет порт подржава безбедну ВПН везу за удаљено преузимање евиденције ПЛЦ-а и решавање проблема са софтвером од стране нашег инжењерског тима.
Popularne oznake: Опрема за испаравање танког филма електронским снопом, произвођачи, добављачи, фабрика опреме за испаравање електронских зрака у Кини
