Преглед производа
Индустријска опрема за више{0}}олучне јонске плоче пројектована за наношење тврдих премаза, функционалних филмова и декоративних ПВД завршних обрада на прецизне компоненте. Користећи високо-струјно, нисконапонско-вакуумско лучно пражњење, систем директно испарава чврсте циљне материјале (Ти, Цр, Ал, Зр). Када се комбинује са реактивним гасовима (Н2, О2, Ц2Х2), синтетише густе нитриде, карбиде и оксиде прелазних метала директно на металне подлоге.
Изграђено на модуларној архитектури вакуумске коморе, ово ПВД решење по принципу „кључ у руке“ омогућава различите производне размере-од серијске обраде истраживања и развоја до аутоматизоване инлине производње великог протока. Систем је оптимизован за високу циљану искоришћеност и ниске укупне трошкове власништва (ТЦО) у непрекидним индустријским окружењима 24/7.
-
![Мулти-опрема за вакуумско таложење]()
Мулти-опрема за вакуумско таложењеОвај више-лучни систем вакуумског таложења користи технологију катодног јонског слоја за наношење густих,-тврдих премаза високе адхезије на металне и не{2}}металне подлоге. Упаљањем лука...Pogledajte više -
![Мулти-систем за јонско таложење]()
Мулти-систем за јонско таложењеThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% јонизација чврстог катодног...Pogledajte više -
![Мулти-ПВД танкослојна опрема]()
Мулти-ПВД танкослојна опремаИндустријски више-лучни ПВД систем користи високо-јонизацију катодног лука физичког таложења паре за наношење густих, стехиометријских тврдих премаза (као што су ТиН, ТиАлН, ЦрН и ДЛЦ) на...Pogledajte više -
![Мулти-опрема за јонско таложење]()
Мулти-опрема за јонско таложењеИндустријски систем за више{0}}лучно јонско таложење генерише густе,-танке филмове високе адхезије кроз високо-нисконапонско испаравање катодног лука. Чврсти циљни материјали (катоде) се...Pogledajte više -
![Систем више-лучних јона танких филмова]()
Систем више-лучних јона танких филмоваИндустријски више-арц јонски систем танког филма користи испаравање катодног лука да нанесе густе керамичке и металне превлаке високе-адхезије на металне и легиране подлоге. Испаравањем чврстих...Pogledajte više -
![Мулти-опрема за танке филмове са јонима]()
Мулти-опрема за танке филмове са јонимаОвај систем за више{0}}лучно јонско наношење користи испаравање катодног лука за таложење густих,-тврдих премаза високе адхезије и функционалних танких филмова. Упаљањем лука високе{3}}ниске...Pogledajte više
Техничке спецификације
|
Параметар |
Спецификација Опсег |
Јединица / Напомена |
|
Димензије коморе |
Ф600 к 600 до Ф1500 к 1800 |
мм (прилагођене вертикалне или хоризонталне конфигурације) |
|
Крајњи вакуумски притисак |
<= 5.0 x 10^-4 |
Па (сува пумпа + турбо{1}}комплет за молекуларну/уљну дифузију) |
|
Извори катодног лука |
4 до 16 јединица |
Електромагнетни управљани или филтрирани извори лука (ФЦА) |
|
Снага пристраности супстрата |
0 до -1000 |
В (напредне пулсне ДЦ/МФ могућности пристрасности) |
|
Температура грејања |
Собна температура до 600 |
Ц (ПИД контролисани грејачи зрачења) |
|
Уједначеност депозиције |
<= +/- 5% |
Мерено преко КСРФ-а преко ефективне радне зоне |
|
Контролни систем |
ПЛЦ + индустријски ПЦ |
Аутоматско извршавање рецепта, СЦАДА евиденција података |
|
Безбедност и усклађеност |
ЦЕ, ИСО 9001 |
Електрична кућишта у складу са УЛ-доступном на захтев |
Секвенца физичког таложења паром функционише на строгом, затвореном-аутоматском току рада у затвореној петљи како би се обезбедила поновљивост серије-до-серије:
Евакуација и испуштање гаса:
Вакумска комора се пумпа до основног притиска од<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Плазма гравирање (бомбардовање):
Уводи се гас аргон. На држач супстрата се примењује велика негативна предрасуда, стварајући Ар јоне који бомбардују површину да би распршили природне оксиде и микро-загађиваче.
Испаравање лука и јонизација:
Једносмерна струја лука удара у чврсту металну катоду. Локална катодна тачка достиже екстремну густину енергије, тренутно испаравајући циљни материјал у ток плазме велике густине-(стопа јонизације > 80%).
Реактивно таложење:
Реактивни гасови се убризгавају у флукс плазме под прецизно контролисаним парцијалним притисцима преко регулатора масеног протока (МФЦ), формирајући стехиометријске филмове једињења на ротирајућим подлогама.
Хлађење и вентилација:
Контролисано хлађење се одвија под заштитом инертног гаса пре вентилације коморе, спречавајући оксидацију свеже обложених делова.
Филмски материјали и својства премаза
Систем подржава више-металне катоде, омогућавајући монослојне, вишеслојне, нано-композитне и градијентне филмске архитектуре:
ТиН (титанијум нитрид):
Стандардни златни премаз; тврдоћа 2200–2400 ХВ; коефицијент трења 0,4. Основна употреба: општи алати за сечење и механички хабајући делови.
ТиАлН (титанијум алуминијум нитрид):
Висока{0}}отпорност на оксидацију до 850 Ц; тврдоћа 3000–3300 ХВ. Примарна употреба: уметци за суву машинску-брзину и вентили мотора.
ЦрН / ЦрАлН (хром нитрид):
Одлична отпорност на корозију и низак унутрашњи напон; анти-својства против-обојних метала. Примарна употреба: калупи за обликовање, клипни прстенови и компоненте текстилних машина.
ЗрН / ТиЦН:
Мала храпавост површине (Ра<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Апликације
Прецизни алати за сечење:
Завршне глодалице, бургије, плоче за кување и уметци који се могу индексирати захтевају продужени век алата под великим термичким оптерећењима.
01
Аутомобилски погон:
Клипни затичи, топови, компоненте за убризгавање горива и површине зупчаника које захтевају смањено гранично трење и отпорност на хабање.
02
Калупи и калупи:
Пластични калупи за бризгање, калупи за штанцање и уметци за{0}} ливење под притиском који захтевају отпорност на хабање лепка и термички замор.
03
Ваздухопловне компоненте:
Лопатице турбине и титанијумски причвршћивачи који раде у агресивним корозивним и{0}}напонским окружењима.
04
Прилагођавање и конфигурација система
Стандардни артикли из каталога ретко се савршено уклапају у наменске фабричке распореде. Конфигурације опреме су прилагођене на основу специфичне геометрије компоненти, циљаног времена циклуса и ограничења објекта:
Геометрија коморе:
Осмоугаоне или цилиндричне коморе од нерђајућег челика (СУС304/СУС316Л) са двослојним-воденим-зидима за хлађење.
Изглед извора:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Фиксирање подлоге:
Планетарна ротација (3-ос) или механизми са једном ротацијом вођени магнетним флуидима да би се гарантовала уједначена покривеност премаза на сложеним 3Д геометријама.
Опције пумпног система:
Роотс дуваљке, ротационе крилне пумпе, криогене пумпе или турбомолекуларне пумпе конфигурисане да испуне стриктна{0}}времена циклуса испумпавања.
Протоколи за контролу и тестирање квалитета
Свака машина се подвргава строгом фабричком пријемном тестирању (ФАТ) пре отпреме, документовано за преглед купца:
01
Тест интегритета вакуума:
Детекција цурења хелијума помоћу масене спектрометрије (стопа цурења<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Електрична безбедност и сагоревање-у:
72-часовни континуирани рад на суво напајање, блокаде за водено хлађење и логика аутоматизације ПЛЦ-а.
03
Верификација премаза (унутарња лабораторија):
Узорци су тестирани помоћу Кало{0}}теста (дебљина филма), Роцквелл удубљења (снага адхезије) и наноиндентације (тврдоћа).
Инсталација, пуштање у рад и техничка подршка
Смернице за припрему локације:
Дати су детаљни цртежи распореда комуналних предузећа за проток/притисак расхладне воде, компримовани ваздух, издувну вентилацију и електричне сабирнице.
САТ и пуштање у рад:
Инсталација{0}}на лицу места (тестирање прихватања локације), калибрација вакуума и примопредаја основног рецепта коју су извршили виши инжењери ПВД процеса.
Процесна обука:
Практично-обука оператера која покрива распореде замене катоде, превентивно одржавање вакуума, решавање проблема и основну оптимизацију рецептура.
Подршка за резервне делове:
Компоненте које се критично хабају (катоде, штитови, изолатори и заптивке) се складиште за глобалну отпрему у року од 48 сати.
Често постављана питања
Добро смо-познати као један од водећих произвођача и добављача опреме за танке филмове са више-онских јона у Кини. Ако намеравате да купите прилагођену опрему за танке филмове са више-арц јона произведену у Кини, добродошли смо да добијете ценовник из наше фабрике. За консултације о цени, контактирајте нас.
