Кина Евапорација електронских зрака Произвођачи танкослојне опреме Добављачи Фабрика

Преглед производа

Ова танкослојна опрема за испаравање електронским снопом је пројектована за високо{0}}прецизно физичко таложење паре (ПВД). Коришћењем фокусираног снопа електрона високе{2}}е енергије за бомбардовање изворних материјала, систем постиже високе стопе испаравања за метале, оксиде и диелектричне материјале високе -тачке-тачке топљења.

Изграђен на модуларној вакуумској архитектури, систем прихвата више-џепних електронских топова, прилагодљиве уређаје за подлогу и напредно-надгледање на лицу места. Опслужује лабораторије за истраживање и развој и производне линије-високе пропусности које захтевају строгу контролу стехиометрије филма, адхезије и оптичких перформанси.

Високо вакуумска опрема за испаравање електронских зрака
Систем за испаравање електронских зрака високог вакуума серије ЕБЕ- таложи танке филмове високе{1}}чистоће за оптичке, полупроводничке и металуршке апликације. Усмеравањем магнетно фокусираног...
Pogledajte više
Систем за таложење танког филма електронским снопом
Систем за таложење танког филма електронским снопом пружа усмерену ПВД обраду високе-чистоће за напредна истраживања и индустријску производњу. Коришћењем фокусираног, магнетно управљаног снопа...
Pogledajte više
Опрема за вакуумско испаравање електронских зрака
Овај систем вакуумског испаравања електронским снопом врши физичко таложење паре (ПВД) метала, оксида и диелектрика високе{0}}тачке-тачке топљења. Усмеравањем фокусираног електронског снопа у...
Pogledajte više
Опрема за таложење танког филма електронским снопом
Овај индустријски систем за таложење електронским снопом користи магнетно фокусиране електронске топове (3 кВ до 15 кВ) за усмеравање токова енергије велике-токове енергије у водом{3}}хлађена...
Pogledajte više
Систем танког филма испаравања електронских зрака
Систем ЕБЕ-Елецтрон Беам Евапоратион Систем је пројектован за физичко таложење паром (ПВД) метала високе{1}}тачке-тачке, диелектрика и оптичких материјала. Коришћењем магнетно одбијеног,...
Pogledajte više
Опрема за испаравање танког филма електронског зрака
Серија ЕБЕ-В600 је индустријска-платформа за физичко таложење паром (ПВД) дизајнирана за прецизно-превлачење танким филмом оптичких компоненти, полупроводничких уређаја и напредних материјала....
Pogledajte više

Техничке спецификације

Параметар	Спецификација Опсег	Напомене / Стандардна конфигурација
Крајњи основни притисак	< 5.0 × 10^-6 Pa	Постиже се помоћу криогених или турбо{0}}молекуларних пумпних група
Димензије коморе	Прилагођено (унутрашњи пречник од 500 мм до 1200 мм)	Нерђајући челик 304Л / 316Л, електро{2}}полиран
{0}}Оцена снаге пиштоља	6 кВ до 15 кВ (више-џепни генератори)	Програмабилно скретање снопа и индексирање са више-таглица
Депоситион Рате	0,1 нм/с до 10 нм/с	Контрола-затворене{1}}петље у реалном времену преко монитора са кварцним кристалима
Уједначеност дебљине филма	< ±1% to ±2% across standard substrates	Планетарни или куполасти уређај за подлогу са променљивом брзином ротације
Температура подлоге	Амбијент до 800 степени	Интегрисано грејање зрачењем са ПИД термичком повратном спрегом

Кључне карактеристике опреме

Високо{0}}стабилни електронски пиштољ:

Одликује се магнетним отклоном и више{0}}фокусирањем да би се спречило локално прегревање изворних материјала и елиминисало пљување током реактивног испаравања.

Модуларни дизајн лонца:

Опремљен са 4 до 6- џепних ложишта која се могу индексирати, омогућавајући вишеслојно таложење без прекида вакуума.

Напредна вакуумска блокада:

ПЛЦ{0}}контролисани пнеуматски вентили, аутоматизована груба обрада/високи{1}}секвенционисање и блокаде штите од нестанка воде за хлађење и аномалија напајања.

Ниска{0}}комора за контаминацију:

Унутрашња заштита користи електро-полирани нерђајући челик са уклоњивим облогама за брзо смањење честица и одржавање.

Филмски материјали и подлоге

Компатибилни материјали за испаравање

Метали: Ау, Аг, Ал, Ти, Цр, Ни, Пт, Цу, Мо, В
Диелектрици и оксиди: СиО2, ТиО2, Ал2О3, Та2О5, ХфО2, ИТО

Типови супстрата

Силиконске плочице (2 инча до 12 инча)
Оптичко стакло, топљени силицијум и кварцне подлоге
Флексибилне полимерне фолије (полиимид, ПЕТ преко модула од ролне-на-модули)
Керамичке подлоге (Ал2О3, АлН)

Апликације

High Vacuum Electron Beam Evaporation Equipment

Оптички премази:

Анти-антирефлективни (АР) премази, уски-филтери уског опсега и огледала високе-рефлексије за ласерске и фотоничке системе.

Electron Beam Thin Film Deposition System

Полупроводнички уређаји:

Формирање омског контакта, метализација капије и обрада{0}}одбока за микроелектронику.

Electron Beam Vacuum Evaporation Equipment

Оптоелектроника:

Транспарентни проводљиви оксидни (ТЦО) слојеви и танки филмови за ОЛЕД екране и фотонапонске ћелије.

Electron Beam Evaporation Thin Film System

Напредно истраживање и развој:

Истраживачки магнетни-магнетни слојеви танког филма, суперпроводни филмови и више-слојне хетероструктуре.

Прилагођавање и конфигурација система

Сваки систем{0}} танког филма је конфигурисан да одговара специфичним рецептурама процеса и распореду постројења. Доступне инжењерске адаптације укључују:

Избор пумпног вода:

Турбо{0}}молекуларне пумпе (ТМП), криопумпе или конфигурације дифузије уља{1}} прилагођене базним захтевима за вакуум и проток.

Учитај{0}}интеграцију закључавања:

Ручно учитавање{0}}закључавање или аутоматизовани вишекоморни кластер системи за одржавање ултра-високог вакуумског интегритета и повећање протока плочице.

Ин-Метрологија на лицу места:

Интеграциони портови за спектроскопске елипсометре, оптичке мониторе или анализаторе резидуалних гасова (РГА).

Контролни софтвер:

Власнички ПЛЦ/ХМИ интерфејс са складиштењем рецепата, евидентирањем података и СЕЦС/ГЕМ комуникационим протоколима за паметну фабричку интеграцију.

Производња и контрола квалитета

01.

Израда пловила:

Све вакуумске коморе се подвргавају тестирању цурења хелијум масеног спектрометра са прагом одбијања од < 1 × 10^-9 Па·м³/с.

02.

Интегритет завара:

ТИГ заваривање изведено под заштитом инертног гаса, праћено пасивизацијом унутрашње површине и механичким полирањем како би се смањило испуштање гасова.

03.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):

Тест у трајању од 72-непрекидно суво-извођење мерећи криве пумпања, прецизност покретања е-пиштоља, време одзива блокаде и термичку стабилност пре складиштења.

04.

Усклађеност и стандарди:

Произведено према ИСО 9001 сертификованом систему управљања квалитетом, са системима пројектованим да испуњавају ЦЕ директиве и релевантне СЕМИ (С2/С8) безбедносне и ергономске смернице.

Инсталација и техничка подршка

На-Пуштању у рад на локацији:

Фабрички{0}}сертификовани сервисни инжењери се баве механичким позиционирањем, прикључцима на струју, расхладну воду, компримовани ваздух и почетним вакуумским-испуштањем.

Подешавање процеса:

Заједничко пробно тестирање се изводи коришћењем супстрата{0}}које је одредио купац да би се провериле стопе таложења, уједначеност и адхезија филма.

Одржавање животног циклуса:

Гарантована доступност резервних делова за{0}}компоненте са високим степеном хабања (филаменти, лонци, штитови) и даљинска дијагностичка подршка преко шифрованих индустријских ВПН веза.

ФАК

П: Које је типично време испоруке за стандардну конфигурацију система?

О: Стандардне конфигурације се испоручују у року од 16 до 20 недеља од одобрења цртежа. Високо прилагођени системи који захтевају посебно оптерећење-конфигурације закључавања или не-нестандардну геометрију коморе у распону од 24 до 30 недеља.

П: Како спречавате унакрсну{0}}контаминацију материјала између различитих испаривача?

О: Систем користи појединачне водено{0}}хлађене џепове за огњиште које су раздвојене термичким и физичким баријерама, заједно са оптимизованим обрасцима чишћења електронским снопом који елиминишу прскање материјала.

П: Који су захтеви за комуналне услуге за систем од 10 кВ?

A: Requirements typically include 3-phase 380V/480V AC power, closed-loop chilled water supply (10–15°C, flow rate >30 Л/мин) и суви компримовани ваздух (0,6–0,8 МПа) за пнеуматске вентиле.

Добро смо-познати као један од водећих произвођача и добављача опреме за танки филм за испаравање електронским снопом у Кини. Ако ћете купити прилагођену опрему танког филма за испаравање електронских зрака произведену у Кини, добродошли да добијете ценовник из наше фабрике. За консултације о цени, контактирајте нас.