Мулти-опрема за танке филмове са јонима

Овај систем за више{0}}лучно јонско наношење користи испаравање катодног лука за таложење густих,-тврдих премаза високе адхезије и функционалних танких филмова. Упаљањем лука високе{3}}ниске струје и ниског напона-на чврсте катодне мете, материјал се одмах испарава и јонизује у окружењу високог{5}}вакума. У комбинацији са реактивним гасовима (Н2, О2 или Ц2Х2), систем синтетише стехиометријске превлаке једињења директно на металним или не{11}}металним подлогама. Конструисана за континуирану индустријску производњу, архитектура обезбеђује стабилно ширење лука, прецизну контролу стехиометрије и поновљиве перформансе филма-до{14}} серије.

Технологија лука са филтрираном катодом:Опремљен са управљањем магнетним пољем и каналима за филтрирање макро-честица (капљица) за уклањање површинских недостатака, дајући ултра-глатке завршне обраде за прецизне компоненте.

Реактивна контрола гаса затворене{0}}петље:Контролори масеног протока (МФЦ) повезани са укупним притиском и повратном спрегом оптичке емисије одржавају стабилне парцијалне притиске током синтезе реактивног једињења.

Планетарни погон са више-осова:Независне осе ротације и окретања обезбеђују равномерно бомбардовање јонима и дистрибуцију дебљине превлаке у сложеним тродимензионалним геометријама-.

Модуларни вакуумски водовод:ИСО{0}}стандардни електро-разводници од полираног нерђајућег челика минимизирају испуштање гасова и поједностављују рутинске интервале одржавања.

Следљивост података серије:Аутоматско евидентирање притиска у комори, преднапона подлоге, струје лука и брзина протока гаса за свеобухватну контролу квалитета.

Вакуумски под{0}}систем је пројектован за брз циклус и робусно руковање нуспроизводима процеса:

Фаза грубе обраде:Ротационе пумпе или пумпе са сувим завртњем упарене са Роотс дуваљкама за стварање грубог вакуума без{0}уља.

Високи вакуум степен:Дифузионе пумпе са хладним хватачима течног азота или молекуларне пумпе високог{0}}проточног протока (ТМП) (ТМП), изабране на основу захтева за чисте просторије и циљаног времена циклуса.

Вентили и мерење:Пнеуматски засуни и изолациони вентили{0}}високе поузданости. Вакуумско мерење пуног{2}}области коришћењем Пирани и мерача јонизације са топлом катодом интегрисаних у сигурносни ПЛЦ са блокадом.

Катоде за испаравање
чисти метали:Ти, Цр, Ал, Зр, Цу, ТиАл легуре, нерђајући челик.

Легуре / једињења:Прилагођене синтероване мете формулисане за специјализовану тврдоћу, коефицијенте трења и отпорност на оксидацију.

Супстрат Материалс
Челици за алате:Брзорезни челик (ХСС), уметци од волфрам карбида, челици за хладно/вруће радње.

Инжењерски метали:Легуре титанијума, конструкцијски нерђајући челик, алуминијум (користећи одговарајући пред{0}}третман).

Техничка керамика:Изабрана индустријска керамика која захтева проводну припрему интерфејса.

Алати за сечење и обликовање
Типови премаза:ТиН, ТиАлН, АлТиН, ЦрН.

Утицај на перформансе:Значајно повећава површинску тврдоћу (до 3000+ ХВ), смањује коефицијенте трења и отпоран је на термичку оксидацију. Доказано продужава радни век бушилица, крајњих глодала, резача за кување и калупа за штанцање у условима велике{2}}брзине обраде.

Аутомотиве Цомпонентс
Пријаве:Клипни прстенови, славине, делови за убризгавање горива и декоративни или функционални спољни хардвер који захтевају отпорност на-хабање и корозију.

Медицал Инструментс
Пријаве:Биокомпатибилни ТиН и ТиЦН премази на хируршким скалпелима, шрафовима за кости и зубним имплантатима за побољшање површинске пасивације и издржљивости на хабање.

Системи су пројектовани тако да одговарају специфичним производним отисцима и процесним параметрима:

Величина коморе:Прилагођени унутрашњи пречници и висине прилагођени максималним димензијама серије и тежинама уређаја.

Конфигурација извора:Хибридне комбинације извора лука и планарних магнетронских катода за распршивање за вишеслојне и нанокомпозитне архитектуре.

Ниво аутоматизације:Полу-{0}}аутоматизоване самосталне ћелије или потпуно интегрисане производне линије компатибилне са роботским системима за пуњење.

Испитивање цурења хелијума:Свака вакуумска комора се подвргава строгом тестирању цурења масеног спектрометра пре фабричког пуштања у промет (стопа цурења<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

електрична безбедност:Управљачки ормарићи изграђени према ЦЕ/УЛ стандардима усклађености са потпуно блокираним сигурносним круговима.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):Тестирање пре{0}}испоруке се врши верификовањем крајњег притиска, уједначености температуре грејача и постојане стабилности паљења лука током непрекидног циклуса од 24 сата.

Смернице за припрему локације:Свеобухватна документација о распореду комуналних услуга која покрива проток/притисак расхладне воде, компримовани ваздух, издувну вентилацију и падове снаге.

На-Пуштању у рад на локацији:Искусни процесни и машински инжењери су послати за структурно поравнање, проверу цурења вакуума, електрично повезивање{0}}и примопредају основног рецепта.

Обука оператера:Практично{0}}обука која покрива рутинско одржавање, замену катодних мета и решавање проблема са ПЛЦ-ом.

Даљинска дијагностика:Безбедна интеграција ВПН модула за-ажурирања софтвера у реалном времену, анализу параметара и брзу{1}}дијагнозу грешке.