Систем танког филма испаравања лука

Индустријски систем танког филма за испаравање катодног лука је пројектован за високо{0}}таложење густих, јако приањајућих металних, легираних и керамичких једињења премаза. Радећи преко ниског-напона, велике-лучне пражњења на чврстим катодним циљевима, систем испарава материјал директно у стање високо јонизоване плазме (40% - 80% однос металних јона). Ово покреће енергетске јоне у интерфејс супстрата, стварајући супериорну адхезију премаза у поређењу са стандардним термичким испаравањем или конвенционалним методама распршивања.

Направљен за производна окружења и напредне центре за истраживање материјала, систем наноси тврде,-триболошке слојеве отпорне на хабање-као што су ТиН, ТиАлН, ЦрН и АлЦрН-на алате за сечење, калупе за формирање и прецизне механичке компоненте. Модуларна вакуумска комора прихвата скалабилне конфигурације са више-катода и аутоматизовану планетарну ротацију од 3-осе како би се обезбедила поновљивост серије-од серије.

Технологија магнетне-управљачке катоде:Затворена{0}}магнетна поља превлаче катодну тачку преко површине мете, подижући стопе искоришћења циља изнад 55% и потискујући локализовано стварање кратера.

Плазма високе стопе јонизације Генерише однос металних јона до 80%, обезбеђујући високу кинетичку енергију за раст густог филма и дубоку металуршку дифузију на интерфејсу супстрата.

Програмабилно више{0}}наношење слојева:Индустријски ПЛЦ у комбинацији са ХМИ контролном архитектуром извршава аутоматизовано секвенцирање реактивних гасова (Н2, О2, Ц2Х2) за функционални градијент и нанослојне архитектуре премаза.

Плазма гравирање на лицу места:Интегрише бомбардовање металним јонима и неуравнотежене фазе чишћења магнетрона пре таложења како би се уклонили природни оксиди и површински загађивачи.

Вакумски подсистем је пројектован за брзе циклусе{0}}испумпавања и стабилан радни притисак под континуираним уносом реактивног гаса:

Роугхинг & Роотс фаза:Директно{0}}окретна пумпа са лопатицом или сувом вијчаном пумпом упарена са Роотс вентилатором, евакуишући комору са атмосферског притиска на 10 Па у року од 5 минута.

Високи вакуум степен:Магнетна левитациона турбомолекуларна пумпа која обезбеђује велику запреминску брзину пумпања водене паре и заосталих гасова, обезбеђујући циљеве основног притиска испод 5,0 к 10^-4 Па.

Вентили и мерење:Пнеуматски засуни и електро-пнеуматски угаони вентили интегрисани са комплетним-комбинационим мерачем Пирани/Пеннинг за аутоматске сигурносне блокаде.

Регулација притиска:Повратна информација о манометру капацитивности{0}}затворене петље повезана са-прецизним регулаторима масеног протока (МФЦ) да би се стабилизовао парцијални притисак реактивног гаса током реактивног таложења.

Таргет Материалс
чисти метали:Ти, Цр, Ал, Зр, Цу, Мо, В, Нб.

Мете од легуре:ТиАл (50/50, 33/67), ТиСи, ЦрАл.

угљеник:Графитне мете за хибридно{0}}таложење угљеника (ДЛЦ).

Компатибилност подлоге
Тврди метали/цементирани карбиди:ВЦ-Уметци за сечење, завршни глодали и алати за формирање.

Брзорезни челици (ХСС):Славине, спиралне бургије и провлачење.

Инжењерски челици:Нерђајући челик, легуре титанијума и суперлегура на бази {{0}температурног никла-.

Структурална керамика:Компоненте глинице и силицијум нитрида које захтевају триболошку модификацију.

Алати за сечење и машинску обраду:Наношење ТиАлН и АлЦрН премаза на карбидне уметке за подизање отпорности на оксидацију до 900°Ц и продужење века трајања алата током-брзине сувог резања.

Аутомобилске компоненте:Тврди премаз клипних прстенова, подизача вентила и клинова за убризгавање горива ради смањења граничних коефицијената трења испод 0,1 и спречавања хабања.

Калупи и калупи:Примена ЦрН и ТиЦН филмова на пластичне калупе за бризгање и металне калупе за штанцање како би се спречило хабање лепка и цепање материјала.

Ваздушни хардвер:Заштитни премази отпорни на{0}ерозију на прецизним причвршћивачима и компонентама компресора који раде у корозивним срединама.

Геометрија коморе:Вертикални дизајн -утоварног стила или хоризонтални предњи-дизајн врата за утовар по мери-подова у продавници.

Интеграција хибридног извора:Двоструке{0}}конфигурације технологије које комбинују испариваче катодног лука са катодама за неуравнотежено магнетронско распршивање (УБМС) или линеарним јонским топовима.

Ниво аутоматизације:Опције фабричке интеграције укључујући аутоматизоване роботске утоварне руке или монтажу на преградни зид за чисту собу.

Енергетска електроника:Прилагођени генератори импулсног преднапона оптимизовани за изолационе подлоге или основне материјале{0}}осетљиве на температуру.

Детекција цурења:Испитивање цурења хелијумским масеним спектрометром обављено је на свим вакуум коморама и завареним шавовима, одржавајући укупне стопе цурења испод 1,0 к 10^-9 Па*м^3/с.

Провера електричне безбедности:Испитивање отпора изолације и континуитета уземљења у складу са ЦЕ и стандардима електричне сигурности.

Функционално трчање на суво:72-часовно континуирано аутоматско тестирање сувог циклуса механичких погона ротације, секвенцирања вентила и блокада протока расхладне воде.

Верификација процеса (ФАТ):Опционо наношење референтних ТиН премаза на купоне за тестирање које-испоручује клијент да би се верификовала уједначеност дебљине филма, нано{1}}тврдоћа и чврстоћа пријањања на огреботине пре паковања.

Водич за припрему локације:Детаљна инжињерска документација објекта која покрива границе оптерећења пода, издувне цеви, спецификације охлађене воде и електричне падове обезбеђена 4 недеље пре испоруке.

На-Пуштању у рад на локацији:Инжењери теренске службе надгледају механичко позиционирање, прикључке на струју, вакуумско заптивање и електричну интеграцију.

Процесна обука:Практично-обука оператера која покрива одржавање коморе, протоколе замене мета, решавање проблема са вакуумом и управљање рецептима.

Даљинска дијагностика:Безбедан индустријски ВПН гатеваи интегрисан у управљачки ормар за удаљено ажурирање софтвера, анализу евидентирања параметара и дијагнозу квара.