ПВД више-опрема за танкослојну обраду

ПВД мулти-процесна опрема за танке филмове је интегрисана платформа за вакуумско таложење пројектована да комбинује вишеструке-технике производње танких филмова-укључујући РФ/ДЦ распршивање магнета, термичко испаравање и испаравање електронским снопом-у оквиру архитектуре вакума.

Овај систем елиминише контаминацију у вакууму између различитих слојева процеса, омогућавајући таложење сложених вишеслојних -слојних металних, диелектричних и полупроводничких филмова без излагања околини. Конфигурисан за лабораторијске Р&Д кластере или пилот{2}}производњу, прихвата подлоге пречника до 300 мм или прилагођене носаче.

Модуларна вакуумска архитектура:Независне процесне коморе повезане преко засунских вентила спречавају унакрсну-контаминацију између реактивног распршивања и високог{1}}испаравања у вакууму.

У-вакумском трансферу супстрата:Магнетне или линеарне преносне руке одржавају висок вакуум (< 10^-4 Pa) during inter-chamber sample movement.

Брза{0}}промена изворних прирубница:Катоде за распршивање и лонци са е-обликовима су постављени на стандардне ЦФ прирубнице ради брзог одржавања и замене мете.

Напредно криогено хватање:Интегрисане хладне замке течног азота и Меисснерове замке минимизирају преостали притисак водене паре унутар коморе.

Затворена{0}}Праћење дебљине петље:Сензори микробаланса са двоструким кристалом кварца (КЦМ) обезбеђују-брзину таложења у реалном времену и повратне информације о дебљини директно повезане са регулацијом напајања.

Фаза грубе обраде:Безуљне{0}}скролотне пумпе упарене са-вишестепеним коренским дуваљкама за елиминисање повратног-тока угљоводоника.

Високи вакуум степен:Backed by magnetically levitated turbo-molecular pumps (>1200 Л/с за Н2) и опционе криопумпе за висок проток водене{2}}паре.

Регулација притиска:Баратрон капацитивни манометри за мерење апсолутног притиска независно од врсте гаса, упарени са аутоматизованим пригушним вентилима за прецизну контролу притиска процесног гаса (0,1 Па до 10 Па).

Детекција цурења:Цурење хелијума-тестирано на < 1 к 10^-9 Па*м^3/с пре фабричког тестирања прихватања (ФАТ).

Кондуктивне мете:Ау, Аг, Цу, Ал, Ти, Цр, ИТО, АЗО, Мо, В, НиЦр.

Диелектрични материјали:СиО2, ТиО2, Ал2О3, Та2О5, ХфО2 (преко реактивног распршивања или е- зрака).

Типови супстрата:
Полупроводничке плочице (силицијум, галијум арсенид, индијум фосфид).

Оптички бланкови (Фусед силиц, БК7, Саппхире).

Флексибилне мреже и танки метални лимови (полиимид, фолија од нерђајућег челика).

Оптоелектроника:Таложење слојева провидног проводног оксида (ТЦО) и антирефлексних (АР) слојева оптичких филтера.

Израда полупроводничких уређаја:Формирање омских контаката, Шоткијевих баријера, слојева семена за галванизацију и дифузионих баријера (Ти/ТиН).

Производња сензора:Танко{0}}метални мерачи напрезања, микро-елементи за грејање и пиезоелектрични претварачи.

Напредно истраживање и развој:Истраживачка вишеслојна-слојна синтеза танких{1}} филмова за квантне рачунарске компоненте и нове материјале за складиштење енергије.

Геометрија коморе:Проширене димензије коморе за не-стандардне или велике шаржне подлоге.

Интеграција извора:Прилагођени односи расподеле између магнетронских распршивача и џепова за испаравање електронских зрака.

Пристрасно прскање:Опције РФ/ДЦ подлоге за згушњавање филма и контролу напона.

Учитај{0}}интеграцију закључавања:Додавање аутоматских{0}}комора за закључавање за одржавање високог интегритета вакуума током циклуса утовара великог{1}}тока.

Следљивост материјала:Сертификати о испитивању млинова (МТЦ) су обезбеђени за све компоненте од нерђајућег челика{0}}са стране вакуума и структурне оквире.

Монтажа чисте собе:Коначна интеграција и верификација{0}}броја честица обављена у окружењу чисте просторије ИСО класе 6.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):72-сатни континуирани тест печења у вакууму, испитивање цурења путем масене спектрометрије анализатора остатка гаса (РГА) и таложење основног филма којим се потврђује уједначеност дебљине.

Водич за припрему локације:Comprehensive utility mapping provided pre-shipment, detailing chilled water flow rates (>15 Л/мин), компримовани ваздух, водови процесног гаса (Ар, О2, Н2 на 99,999% чистоће) и захтеви за електрично оптерећење (3-фазни 380В/480В).

Пуштање у рад:Инсталација{0}}на лицу места, калибрација вакуума и заједничка испитивања-које обављају фабрички сервисни инжењери.

Обука оператера:Структурисана 5-обука на лицу места која обухвата рутинско одржавање, безбедносне протоколе усисавања, програмирање рецепата и основно решавање проблема.