Опрема за испаравање лука

Овај систем за испаравање катодног лука испарава чврсте катодне мете преко ниског-напона, високе{1}}електричне струје да би се створила потпуно јонизована метална плазма. У поређењу са стандардним термичким испаравањем или магнетронским распршивањем, овај ПВД процес пружа већу густину плазме и супериорну адхезију филма-за-подлогу, прилагођен за функционалне, отпорне на хабање-и декоративне тврде премазе.

Магнетно филтрирани извори:Унутрашњи магнетни канали одбијају уједињене микрокапљице даље од флукса паре, обезбеђујући ниску храпавост површине (Ра) за прецизне делове.

Затворена{0}}Контрола пристрасности: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 ум).

Висока стопа јонизације:Ефикасност јонизације плазме достиже 40% - 80%, стварајући густу хемијску везу без екстерне радио-фреквентне помоћи.

Модуларни дизајн коморе:Произведен од нерђајућег челика 304/316Л са електро-полираним унутрашњим површинама (Ра<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

Роугхинг & Роотс пумпе:Двостепене{0}}пумпе са ротационим лопатицама упарене са механичким додатним дуваљкама подносе почетну грубу обраду и велика оптерећења гаса током реактивног убризгавања Н2 или Ц2Х2.

Пумпе високог вакуума:Магнетне левитационе турбо{0}}молекуларне пумпе (1200 - 3200 Л/с) одржавају велике брзине пумпања заостале водене паре и лаких гасова.

Вентили и мерење:Пнеуматски засуни, ИСО/ЦФ високо{0}}прирубнице за заптивање вакуума и комбиновани мерачи јонизације са Пирани/врућом{1}}катодом интегрисани директно у петљу за закључавање ПЛЦ-а.

Компатибилне катодне мете
чисти метали:Ти, Цр, Ал, Зр, Цу, Ни, Аг, Мо, В

Легуре и једињења:ТиАл, ЦрАл, ТиСи, ВЦ, графитне мете за таложење угљеника налик дијаманту{0}}(ДЛЦ)

Супстрат Материалс
Тврди метали и карбиди:Цементирани карбиди (ВЦ-Цо), брзорезни челик (ХСС), уметци за сечење од нерђајућег челика

Полупроводници и керамика:Силицијумске плочице, глиница (Ал2О3), инжењерско техничка керамика

Алати за сечење и калупи:Наношење ТиН, ТиАлН и ЦрН на бургије, крајње глодалице и калупе за штанцање ради повећања површинске тврдоће на 2500 - 3500 ХВ и смањења трења.

Аутомобилске компоненте:Слојеви{0}}отпорни на хабање и ниско трење{1}} на клипним прстеновима, клиновима ињектора и зупцима зупчаника.

Декоративни тврди премази:ПВД премази у боји (злато, ружичасто злато, гунметал, црни титанијум) за кућишта хардвера и потрошачке електронике.

Функционални танки филмови:Проводни и баријерни слојеви за микроелектронику и амбалажу полупроводника.

Величина коморе:Скалиране варијације запремине које одговарају специфичним геометријама серије и производним отисцима.

Извор хибридизација:Интеграције са више-катода које комбинују изворе катодног лука са катодама за неуравнотежено магнетронско распршивање (УБМС) за градијентне вишеслојне филмове.

Фиксирање подлоге:Прилагођени планетарни угаоници, локализовани низови грејања до 600 степени и прилагођени проводници напајања.

Интеграција софтвера:Прилагођена логика ПЛЦ рецепта, СЦАДА евиденција података и индустријске конфигурације усклађености.

Детекција цурења:Тестирање масеног спектрометра хелијума на свим коморама и завареним шавовима, гарантује укупну стопу цурења од<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

Инспекција електричне безбедности:Испитивање отпорности на диелектрик{0}}висок потенцијал, провере континуитета уземљења и верификација одзива блокаде пре постављања.

Следљивост материјала:Извештаји о испитивању материјала (МТР) су обезбеђени за конструкцијски нерђајући челик, вакуумске заптивке и компоненте за изолацију високог напона.

Пробни рад пре{0} испоруке:72-сатни континуирани тест рада на суво пумпног скупа, ротационих погона и извора напајања у симулираним циклусима.

Водич за припрему локације:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 м^3/х на 20 - 25 степену), усисавање издувних гасова и електрични падови (380В/480В, 3-фазни, 50/60Хз).

Пуштање у рад и прихватање:Фабричко пријемно тестирање (ФАТ) у нашем објекту; Тестирање прихватања локације (САТ) и примопредаја процеса које су-извршили стални инжењери на локацији.

Подршка животног циклуса:Сигурна ВПН даљинска дијагностика, складиштење инвентара резервних делова (мете, штитови, заптивке) и обука локалног техничара за одржавање.