Опрема за таложење испаравањем лука

Индустријска платформа за физичко таложење паре (ПВД) пројектована за-синтезу густих, отпорних на хабање- и функционалних тврдих премаза. Одржавање катодног лучног пражњења велике-нисконапонске-напоне на чврстим циљним површинама генерише 80% до скоро 100% јонизовани ток плазме.

У комбинацији са програмабилним негативним скретањем подлоге, ова висока кинетичка енергија покреће мешање на атомској-скали међуфаза, дајући врхунску адхезију филма и нулту стубну порозност. Архитектура коморе подржава модуларне конфигурације са више-катода за аутоматизовано наношење једнослојних-слојних, више-слојних нано-ламината и стехиометријских градијентних премаза (ТиН, ТиАлН, ЦрН, ТиЦН).

Висока стопа јонизације:Директно катодно испаравање претвара метални флукс у јоне високе-густине, промовишући густе структуре зрна без микро-празнина.

Активно магнетно управљање:Програмабилни електромагнетни намотаји померају тачку лука преко лица мете, потискујући локализоване кратере и подстичући искоришћеност циљног материјала преко 60%.

Динамичка контрола гаса:Затворени{0}}Контротори масеног протока (МФЦ) регулишу убризгавање реактивног гаса (Н2, О2, Ц2Х2) путем-повратне информације о парцијалном притиску у реалном времену.

Синергија више-извора:Зидови коморе прихватају хибридне циљне распореде, омогућавајући непрекинуто секвенцијално наношење више{0}}компонентних керамичких слојева у једном циклусу вакуума.

Група за грубу обраду и корење:Роотс пумпа са директним{0}}погоном упарена са Роотс вентилатором велике запремине за руковање великим оптерећењима гаса током реактивне обраде.

Високи вакуум степен:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 Л/с) повезан преко пнеуматског засуна високе проводљивости-.

Вакуумска инструментација:Подешавање двоструког мерача Пирани и Цолд Цатходе са двоструким мерачем за надгледање укупног притиска у распону од атмосфере до 10^-6 Па.

Интегритет цурења:Еластомер-запечаћене прирубнице са хлађењем са воденим-обложеним омотачем одржавају стопе цурења система испод 1,0 к 10^-9 Па*м3/с.

Катодни циљни материјали
Прелазни метали и легуре:Титан (Ти), хром (Цр), цирконијум (Зр), алуминијум (Ал), титан - алуминијум (ТиАл 50/50, 33/67), волфрам (В).

Не{0}}метални:Графит-високе чистоће (Ц) за слојеве дијаманта{1}}попут угљеника (ДЛЦ) и карбида.

Индустриал Субстратес
Челици за алате и карбиди:Брзорезни челик (ХСС), цементни карбиди (ВЦ-Цо).

Структурне легуре:Аустенитни/мартензитни нерђајући челици, легуре титанијума (ТЦ4), суперлегуре на бази никла- (инконел).

Прецизни алати за сечење:Наношење ТиАлН и АлТиН на бургије, крајње глодалице и плоче за кување за подизање површинске тврдоће на 3300-3500 ХВ и подизање отпорности на термичку оксидацију до 800 степени.

Аутомобилски инжењеринг:Превлаке са ниским-трењем,-отпорним на хабање на компонентама за убризгавање горива, клипним прстеновима и точковима.

Калупи и калупи:Таложење хром нитрида (ЦрН) на пластичне калупе за бризгање ради спречавања хабања лепка, микро-заваривања и лепљења смоле.

Величина коморе:Геометријске модификације прилагођене превеликим архитектонским панелима или{0}}малим вртешкама са алатима велике пропусности.

Извор хибридизација:Интеграција извора катодног лука са неуравнотеженим магнетронским (УБМ) распршивањем или ХиПИМС катодама у јединствено тело.

Интерфејси за аутоматизацију:Фабричка интеграција МЕС-а преко ОПЦ-УА протокола заједно са опцијама аутоматског учитавања.

Провера цурења хелијума:Провера цурења масеног спектрометра извршена на свим завареним деловима и вакуумским заптивкама.

Провера електричне безбедности:Тестирање изолације хипопота, провере континуитета уземљења и провера петље Е-зауставног кола.

72-Тест сагоревања:Континуирано суво{0}}циклирање механичких погона ротације, прекидача протока воде и ПЛЦ вентила пре демонтаже.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):Изводи се на-локацији да би се потврдили основни нивои вакуума, стабилност запаљења лука и дистрибуција дебљине основне линије на купонима за калибрацију.

Захтеви за примопредају објекта:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 МПа, 15-25 степени), издувавање и падови напајања (3-фазни, 380В/480В).

Пуштање у рад на терену:На{0}}надзор на лицу места од стране инжењера машинства и електротехнике који покривају поравнање, спајање и пробне серије.

Обука оператера:Структурисана упутства о конфигурацији софтверског рецепта, поступцима замене катодних мета и превентивном одржавању вакуума.

Даљинска дијагностика:Безбедан индустријски ВПН гатеваи уграђен у контролну таблу за софтверску телеметрију и подршку за решавање проблема.