Катодна лучна танкослојна опрема

Систем физичког таложења паре (ПВД) који користи локализоване ниско{0}}напонске, јаке{1}}електричне лукове за испаравање чврстих катодних циљева у потпуно јонизовану плазму. Висока стопа јонизације (40%-80%) доводи до густог атомског-везивања и високог притиска на притисак, омогућавајући високу брзину-таложења премаза отпорних на хабање-и декоративних премаза на брзорезном челику (ХСС), карбидним алатима за сечење, аутомобилским компонентама и медицинским уређајима.

Висока ефикасност јонизације:Стопа јонизације плазме достиже 40%-80%, обезбеђујући врхунску адхезију филма-на подлогу.

Модуларне катоде:Циљни склоп за брзу{0}}промену минимизира време застоја у одржавању; компатибилан са равним и ротирајућим цилиндричним катодама.

Затворена{0}}Контрола гаса:МКС регулатори масеног протока одржавају прецизне парцијалне притиске реактивног гаса за сложене филмове (ТиАлН, ТиЦН).

Планетарна ротација са више{0} оса:Прилагођени погони за ротацију и окретање обезбеђују уједначеност дебљине (±5%) у сложеним 3Д геометријама.

Двоструки{0}}режим рада:Подржава интеграцију испаравања једносмерног лука и пулсног распршивања за више{0}}слојне архитектуре.

Пумпе за грубу обраду:Комбинација Роотс и крилних пумпи за брзо пумпање{0}}из атмосфере на 10 Па.

Високо вакуумска пумпа:Магнетно левитирана турбомолекуларна пумпа (1600–3200 Л/с) која обезбеђује притисак базе без угљоводоника{2}.

Вентили и мерење:Пнеуматски високо{0}}вакумски засуни са Пирани и блокадама за јонизацију са хладном катодом за спречавање повратног тока уља.

[Визуелни водич за веб произвођача]:Убаците шематску или јасну слику распореда вакуумске водоводне инсталације, наглашавајући положај турбомолекуларне пумпе и пнеуматског засуна.

Стандардне катодне мете (чистоћа већа или једнака 99,95%)
Транзициони метали:Ти, Цр, Зр, Ал, ТиАл (50/50, 33/67 атомски односи), ЦрАл, В, Нб, Си.

Легуре и једињења:Графит (за ДЛЦ међуслојеве), нерђајући челик.

Компатибилност супстрата и пре{0}}третман
Материјали:ВЦ-Алати за корезивање, глодалице за глодање, протеге, калупи за штанцање, калупи за бризгање, легуре титанијума (5. разреда) и нерђајући челик.

Пре{0}}третман:Ултразвучно одмашћивање растварачем и-чишћивање бомбардовањем на лицу места (Ар⁺ плазма гравирање) унутар коморе пре таложења.

Алати за сечење и обликовање:ТиН, ТиАлН и АлЦрН премази подижу површинску тврдоћу на 3000–3500 ХВ, сузбијајући термално стварање кратера и абразивно хабање.

Аутомобилске компоненте:Премази за{0}}смањење трења за клипне прстенове, клинове за убризгавање горива и компоненте зупчаника.

Медицински имплантати:Биокомпатибилни ТиН и ЗрН тврди премази на ортопедским заменама зглобова и хируршким шрафовима.

Декоративни хардвер:Производња спектра боја (златни месинг, ружичасто злато, метално црна, титанијум сива) подешавањем реактивног гаса.

Геометрија коморе:Вертикално утовар (-монтажно или подно-стајање) или хоризонтално предње- конфигурације утовара.

Конфигурација извора:Филтрирани катодни лук (ФАЦ) магнетни канални извори за уклањање макрочестица за оптичку или прецизну електронику.

аутоматизација:Роботске утоварне руке, интеграција АГВ прикључка и МЕС протоколи за евидентирање података.

Детекција цурења:Испитивање хелијумским масеним спектрометром на свим коморама и завареним шавовима (мање или једнако 1 × 10⁻⁹ Па·м³/с).

електрична безбедност:Висок{0}}отпор изолације, континуитет уземљења и функционална провера блокаде ПЛЦ-а.

Пробно покретање (ФАТ):72-непрекидни тест рада на суво-у трајању од 72- плус стандардни тест наношења премаза процењен помоћу Цало-теста (дебљина) и тестера на огреботине (адхезија).

Пакет документације:Електричне шеме, П&ИД дијаграми, ПЛЦ изворни кодови, сертификати материјала и ФАТ извештаји.

Припрема локације:Детаљни нацрти распореда, метрика расхладне воде и спецификације дистрибуције електричне енергије дате 4 недеље пре испоруке.

Пуштање у рад:Механичка монтажа-на лицу места, калибрација вакуума и примопредаја рецептура од стране виших инжењера процеса.

Обука:Практично{0}}упутства која покривају одржавање хардвера, решавање проблема са вакуумом и безбедносне протоколе.

Подршка:Интеграција софтвера за даљину за{0}}решавање проблема са ПЛЦ-ом у реалном времену, уз подршку регионалног инвентара резервних делова.