ПВД опрема за испаравање лука

Индустријски ПВД ​​систем са испаравањем катодног лука користи електричне лукове ниског{0}}напона високе-струјне струје за испаравање чврстих катодних циљева у вакуумском окружењу. Овај механизам постиже стопу јонизације метала од преко 80%, обезбеђујући високу чврстоћу хемијског везивања и адхезију подлоге у поређењу са термичким испаравањем или стандардним магнетронским распршивањем.

Дизајниран за континуирану производњу у више-смена, систем интегрише вакуумску комору од нерђајућег челика тешког-калибра, модуларне склопове катодног управљања и ПЛЦ-засновану аутоматизовану архитектуру управљања процесом.

Висока ефикасност јонизације:Директно испаравање катоде производи потпуно јонизовану металну плазму за раст густог танког филма-контролисаног дефектима- на умереним температурама.

Опција магнетно филтрираног лука:Интегрисани електромагнетни намотаји за управљање минимизирају избацивање макрочестица (капљица) како би се обезбедиле глатке завршне обраде премаза за прецизну обраду алата.

Више-таложење слојева/градијента:Синхрони рад са више-катода омогућава синтезу степенастих прелазних слојева (нпр. Ти/ТиН/ТиАлН) без прекида вакуума.

Затворена{0}}Контрола процеса:Петље-повратне информације у реалном времену регулишу проток реактивног гаса (азот, ацетилен, кисеоник) преко -прецизних регулатора масеног протока (МФЦ) да би се одржали циљни парцијални притисци.

Пумпни димњак:Примарна груба обрада користи двостепене{0}}пумпе са ротационим лопатицама које подржавају Роотс дуваљке. Постизање високог{2}}вакума се ослања на-дифузионе пумпе великог протока или турбомолекуларне пумпе.

Вентили и цевоводи:Пнеуматски угаони вентили и електропнеуматски засуни аутоматски изолују зоне коморе. Колектори користе ИСО/КФ и ЦФ цеви од нерђајућег челика са прирубницама са посребреним-бакарним заптивкама или Витон О-прстеновима.

Детекција цурења:Интегрисани хелијумски масени спектрометар тест портови омогућавају дијагностику до 10^-10 Па*м^3/с.

Компатибилни катодни материјали
чисти метали:Ти, Цр, Ал, Зр, Цу, Мо, В, Аг, ТиАл легуре (нпр. атомски односи 50/50 или 33/67).

Сложени циљеви:ТиЦ, ЦрЦ, ВЦ.

Компатибилност подлоге
Челици за алате:Брзорезни челици (М2, Х13) и цементни карбиди (ВЦ-Цо уметци).

Структурне легуре:Нерђајући челик, легуре титанијума (ТЦ4) и суперлегуре на бази никла-.

Инжењерска керамика:Силицијум нитрид и глиница са проводљивом пред{0}}обрадом.

Алати за сечење и обликовање:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 ХВ и продужава век хабања алата за 200% - 400%.

Аутомобилске компоненте:Премази против{0}}хабања на клипним прстеновима, топовима и иглама за убризгавање горива. Смањује коефицијент трења на 0.15 - 0.25 према челику.

Медицински имплантати: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

Калупи и калупи:ЦрН или ДЛЦ премази на калупима за бризгање пластике и штанцање како би се елиминисало хабање лепка и олакшало ослобађање радног комада.

Геометрија коморе:Конфигурације утовара са вертикалним -утоваром или хоризонталним фронтом{1}}.

Изглед извора:Прилагођено позиционирање катоде прилагођено 3Д геометријама радног предмета (нпр. дугачке екструзионе калупе или лопатице турбине).

Надоградње генератора пристрасности:Интеграција хибридних модула-импулсног магнетронског распршивања (ХИПИМС).

Интеграција аутоматизације:Роботски интерфејси за утовар и аутоматизоване шине за пренос опреме за окружење чистих соба.

Пре фабричког пријемног тестирања (ФАТ), системи пролазе:

Вакуумско тестирање цурења:Верификација масеног спектрометра на хелију на свим завареним спојевима и заптивкама.

Верификација електричне безбедности:Провере отпора изолације, континуитета уземљења и логичке блокаде у складу са ЦЕ/УЛ стандардима.

Функционално урезивање-у:72-сатни континуирани тест рада на суво ротационих погона, прекидача протока и ПЛЦ комуникације.

Тестирање премаза:Таложење узорка је верификовано мерењем дебљине филма{0}}кратерског филма и Роцквелл тестирањем огреботина удубљења.

Припрема локације:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 м^3/х, 20 - 25 степен Ц), компримовани ваздух, вентилација и електрични падови (380В/480В, 3-фазни, 50/60 Хз).

Пуштање у рад:Инсталација{0}}на лицу места, калибрација вакуума и оптимизација рецептура од стране виших инжењера процеса.

Обука оператера:Практично{0}}упутства која покривају рутинско одржавање, замену мета и рад СЦАДА.

Након{0}}подршка након продаје:Даљински дијагностички приступ преко сигурног индустријског ВПН-а; гарантован технички одговор у року од 24 сата.