Индустријски{0}}систем вакуумског премаза који интегрише магнетронско распршивање (РФ/ДЦ/ХиПИМС) и испаравање катодног лука. Дизајниран за континуирано, више-слојно, легирано и нано-композитно таложење танких-филмова у производној скали.
Техничке спецификације
|
Параметар |
Специфицатион Валуе |
|
Крајњи вакуумски притисак |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Димензије коморе |
Прилагођене величине од Д 600 мм к 600 мм до Д 1500 мм к 1500 мм (304/316Л електро-полирани нерђајући челик) |
|
Извори таложења |
Подешавање: 2-6 катода за распршивање магнетрона / 2-4 извора лука |
|
Снага пристраности супстрата |
0 до -1000 ВДЦ подесиво (пулсни ДЦ за диелектричне подлоге) |
|
Уједначеност дебљине филма |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Температура подлоге |
Амбијент до 650 степени (+/- 2 степен ПИД затворена-контрола петље) |
|
Повер Дистрибутион |
РФ (13,56 МХз), ДЦ, импулсни ДЦ и средња{1}}фреквенција (МФ) са потискивањем лука |
Кључне карактеристике
Двострука{0}}интеграција технологије:Комбинује распршивање (глатки, аморфни слојеви једињења) и катодни лук (високо-јонизовано таложење метала/легура) у једном циклусу пумпања{1}}.
Управљање гасом у затвореној{0}}петљи:Контролори масовног протока (МФЦ) упарени са оптичким надзором емисије (ОЕМ) стабилизују парцијалне притиске реактивног гаса.
механичка изолација:Планетарни погони са више-осних осовина изолују механичке лежајеве од процесне зоне, спречавајући контаминацију честицама.
Термална архитектура:Зидови коморе са дуплим-зидовима{1}}хлађени водом{1} и заштита од зрачења спречавају термичку дисторзију током рада велике снаге-.
Језгро аутоматизације:Сиеменс С7-1500 ПЛЦ и ВинЦЦ СЦАДА архитектура за блокаду у реалном времену, праћење гаса и напајања.
Конфигурација вакуумског система
Груби воз:Пумпе са лопатицом са директним{0}} погоном подржане Роотс дуваљкама са магнетним заптивкама за течност.
Високи вакуум:Магнетно левитиране турбо{0}}молекуларне пумпе (1200 - 3200 Л/с) или криогене пумпе.
Дијагностика:Интегрисани прикључци за испитивање масеног спектрометра хелијума и аутоматизована блокада секвенцирања.
Компатибилност материјала и подлоге
Циљни материјали:
метали:Ти, Цр, Ал, Зр, Цу, ТиАл, ЦрАл, Си
Керамика/једињења:ТиН, ЦрН, ТиАлН, ДЛЦ, Ал2О3, СиО2
Подлоге:Челици за алате (Х13, М2, уметци од карбида), структурне легуре титанијума/алуминијума, инжењерска керамика и силицијумске плочице.
Апликације и доказане перформансе
Алати за сечење:Вишеслојни премази ниског{0}}трења,-високе-тврдоће (ТиАлН/ТиН) за продужени век алата под сувом обрадом великом брзином.
Аутомобили:Премази против хабања и{0}}загребања за клипне прстенове и клинове за убризгавање горива.
Ваздухопловство:Термичка баријера и заштитне фолије отпорне на оксидацију-на лопатицама и причвршћивачима компресора.
Оптика и електроника:Проводни транспарентни оксиди (ИТО) и филтери оптичких сметњи.
Опције прилагођавања
Геометрија коморе:Правоугаоне конфигурације кутија за утовар у регал или цилиндричне инлине геометрије.
Извор Ретрофиттинг:Изменљиве прирубнице за монтажу катоде за конверзију на терену у ЦФУБМС.
Плазма гравирање:Јонски топови типа Кауфманн{0}} или извори са шупљом катодом за-чишћење подлоге на лицу места.
Контрола квалитета и фабричка испитивања
Интегритет вакуума:Праг за испитивање цурења хелијума<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Завршна обрада:Унутрашњи завари коморе електро{0}}полирани до Ра<= 0.4 um.
МАСТИ:72-сатни континуирани тест рада на суво петље вакуума, кретања и сигурносне блокаде пре складиштења.
Стандарди усклађености:Израђен према ЦЕ директивама о машинама и ИСО 9001 стандардима. (Иконе значке поверења: ИСО 9001, ЦЕ, УЛ)
Инсталација и техничка подршка
Пакет документације:П&ИД шеме, електрични дијаграми ожичења, ПЛЦ изворна логика и досијеи ЦЕ/УЛ усклађености.
Пуштање у рад:Инжењери на терену надгледају механичко позиционирање, прикључке на струју и верификацију провере цурења.
САТ и предаја рецепта:На{0}}основни тестови на сајту и оптимизација рецепата.
ФАК
П: Колико је време{0}}искључивања пумпе до основног притиска?
О: Достиже < 5,0 к 10^-4 Па у року од 45 минута под чистим, сувим и амбијенталним термичким условима.
П: Може ли систем да прелази између ДЦ и РФ распршивања усред-процеса?
О: Да. Матрица напајања омогућава софтверски{1}}контролисано секвенцирање између једносмерне, импулсне једносмерне струје и РФ без прекида вакуума.
П: Који услужни програми су потребни на-сајту?
О: Расхлађена вода (15 до 20 степени на 0,3 до 0,4 МПа), компримовани ваздух (0,6 МПа), процесни гасови високе{5} чистоће (Ар, Н2, О2 на 99,999%) и наменска 3-фазна индустријска енергија.
П: Како се регулише температура подлоге током таложења?
О: Интегрисани инфрацрвени пирометри у комбинацији са зрачећим грејачима и ПИД контролом затворене{0}}петље.
Popularne oznake: пвд композитни систем танког филма, произвођачи, добављачи, фабрика у Кини пвд композитни систем танког филма
