Систем за таложење танког филма уз помоћ јона{0}

Систем за таложење танког филма уз помоћ јона интегрише више-џепних електронских-снопова/термално испаравање са извором јона високих-Енд-Халов или Кауфманов{5}} типова високих перформанси. Током физичког таложења паре (ПВД), енергетско бомбардовање јонима преноси замах директно на адатоме на површини супстрата, елиминишући шупљине у стубној микроструктури и производећи танке филмове високе -густине, еколошки стабилне.

Конструисана за производњу прецизне оптике, полупроводничке микроелектронике и напредне објекте за истраживање и развој, ова платформа пружа строгу поновљивост серије-до-за сложене филтере за оптичке сметње, тврде заштитне слојеве и слојеве за пасивизацију полупроводника.

Моментум{0}}Побољшана микроструктура:Контролисана помоћ јонима повећава покретљивост површине адатома, ефикасно потискујући раст порозних стубних зрна и елиминишући померања индекса преламања узрокована апсорпцијом влаге.

Дуал{0}}Повратна информација о дебљини канала:Интегрише сонде са двоструким кварцним кристалом (КЦМ) уз портове за широкопојасни оптички надзор (БОМ) за -нанометарску{1}} регулацију дебљине и брзине у реалном времену.

Ултра{0}}чиста вакуумска комора:Направљен од нерђајућег челика 304Л са унутрашњим електро-полираним завршетком, металним-заптивним вентилима за ПДВ и пнеуматским металним-прирубницама за заптивање како би се смањило испуштање гасова.

Регулација о реактивном гасу са затвореном{0}}петљом:Високо{0}}прецизни регулатори масеног протока (МФЦ) мере реактивни кисеоник, азот и гасове аргона са резолуцијом испод-сццм да би обезбедили стехиометријске слојеве једињења.

Линија грубе обраде:Херметички затворене, без{0}}уљне суве спиралне пумпе елиминишу ризик од контаминације угљоводоницима у фазама грубе и предње линије.

Интеграција високог вакуума:Маглев турбомолекуларне пумпе повезане директно са главном комором преко пнеуматских засуна високе{0}}кондуктивности максимизирају брзину пумпања за процесну и заосталу водену пару.

Вакумска дијагностика:Редундантни мерачи Пирани и хладне катоде обезбеђују континуирано, унакрсно{0}}калибрисано бележење притиска од атмосфере до 10⁻⁷ Па.

Материјали за испаравање:Диелектрични оксиди: СиО₂, ТиО₂, Та₂О₅, Нб₂О₅, ХфО₂, Ал₂О₃

Флуориди:МгФ₂, ЛаФ3

Ватростални метали:Ау, Аг, Ал, Ти, Цр, НиЦр

Подтипови супстрата:Оптичко стакло (БК7, топљени силицијум диоксид, кварц), полупроводничке плочице (силицијум, ГаАс), монокристалне подлоге (ЛиНбО₃, сафир) и прецизне металне компоненте.

Прецизна оптика:Филтери са ускопојасним-мултиплексом са поделом таласне дужине (ВДМ), огледала ласерских линија и издржљиви премази против-одбојности (АР) за ласерске системе велике{2}}

Производња полупроводника:Диелектрици од оксида капије, слојеви семена адхезије између метала и слојеви против влаге{0}}за пасивизацију.

Напредна оптоелектроника:Танки{0}}поларизатори, слојеви таласовода и провидни проводљиви оксид (ТЦО) додирни{1}} филмови.

Ограде коморе:Вертикална цилиндрична звона-тегле, двострука-квадратна кутија са двоструким вратима или дизајни чистих просторија који пролазе-.

Модуларност извора:Прилагођени број џепова у лончићу, интеграција катоде секундарног магнетрона за распршивање или специјализована подешавања снаге РФ пристрасности.

Архитектура аутоматизације:Прилагођена логика ПЛЦ интерлоцк, СЦАДА безбедносни нивои дозвола и СЕЦС/ГЕМ протоколи за евидентирање{0}} података о хосту.

Валидација компоненте:Све структурне прирубнице, вакуумски улази, енергетска електроника и контролери протока масе пролазе индивидуално димензионално и електрично тестирање на столу пре монтаже.

Потврда о цурењу:Састављене коморе се подвргавају тестирању цурења хелијум масеног спектрометра; праг одбијања мора остати испод 1,0 × 10⁻⁹ Па·м³/с.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):Обавезна 72-непрекидна провера рада на суво-од 72-које обухвата криве повлачења пумпања, механику планетарне ротације са више-оса, сигурносне петље за блокирање и стабилност емисије е-зрака.

Документација:Испоручује се са цртежима механичког склопа, електричним шемама, П&ИД распоредима, ПЛЦ логичким изворним регистрима и водичима за превентивно одржавање.

На-Пуштању у рад на локацији:Инжењери теренске службе усмеравају механичко позиционирање, прикључке на комуналне услуге (струја, расхладна вода, компримовани ваздух) и почетно печење{0}}система.

Процесна обука:Укључује основну калибрацију, подешавање параметара извора јона и обуку о безбедносном протоколу оператера.

Нега животног циклуса:Даљинска дијагностичка подршка путем шифрованих ВПН модула, регионалног складиштења резервних делова и заказаних ревизија калибрације.