ПВД хибридни систем за таложење танког филма

ПВД хибридни систем за таложење танког филма интегрише термичко испаравање, испаравање електронским снопом (е-беам) и РФ/ДЦ магнетронско распршивање унутар једне вакуумске архитектуре. Ова платформа омогућава секвенцијално или ко{2}}таложење метала, легура и диелектрика без прекида вакуума, спречавајући међуфазну оксидацију. Дизајниран за институције за истраживање и развој и пилот производне линије, систем рукује подлогама до 6 инча са аутоматизованом ротацијом више-оса.

Модуларне утичнице:Заменљиве прирубнице извора омогућавају брзу реконфигурацију између катода за распршивање и термалних/е-испаривача.

Архитектура изолације:Пнеуматски засуни изолују процесну комору од високо{0}}вакуумског слоја како би се минимизирало стварање честица.

На{0}}Надгледање на лицу места:Наменски портови за сензоре микробаланса кристала кварца (КЦМ) и оптичку емисиону спектроскопију (ОЕС).

Интерлоцкед Сафети ПЛЦ:Хардверска блокада спречава активацију извора током високог притиска, квара расхладне воде или кршења безбедности.

Пумпа за грубу обраду:Сува спирална пумпа (30 м^3/х) за елиминисање повратног тока угљоводоника.

Високо вакуумска пумпа:Магнетно левитирана турбомолекуларна пумпа (1200 Л/с за Н2) подржана криогеном замком.

Мерила:Комбиновани сензори Пирани и хладне катоде који обухватају атмосферу до 10^-7 Па.

печење:Јакне за патроне са спољним изолационим покривачима до 150 степени Ц.

Материјали за испаравање:
метали:Ау, Аг, Ал, Ти, Цр, Пт, Цу, Ни

Диелектрици и оксиди: СиО2, ТиО2, Ал2О3, ИТО

Полупроводници:Си, Ге

Типови супстрата:Силиконске плочице{0}}од једног кристала, стакло, кварц, полиимидне фолије и металне фолије.

Оптоелектронски уређаји:Транспарентне проводне електроде (ИТО) и вишеслојне{0}}слојне рефлекторе за ОЛЕД и соларне ћелије.

Микроелектронско паковање:Испод{0}}метализација (УБМ) и слојеви семена за паковање на нивоу плочице-.

Напредно истраживање и развој:Структуре квантних уређаја, танки филмови суперпроводника и магнетни тунелски спојеви (МТЈ).

коморна скала:Проширене димензије за 12-инчне подлоге или интеграцију претинца за рукавице.

Подешавање извора:Прилагођене запремине лончића, РФ извори напајања и модули -потпомогнутог таложења (ИАД).

аутоматизација:Управљање рецептима на екрану осетљивом на додир или потпуна усклађеност са СЕЦС/ГЕМ фабричком аутоматизацијом.

Тестирање цурења:Тестирање масеног спектрометра хелијума по комори (< 1 x 10^-10 Pa*m^3/s threshold).

Провере димензија:ЦММ верификација растојања између извора-од-подлоге и толеранција прирубница.

Електрично тестирање:Здраво-Тестирање лонца, провере континуитета уземљења и ЕХС ревизије на свим-водовима високог напона.

Фабричко прихватљиво тестирање (ФАТ):Пре{0}}провере базног притиска, функционалности извора и аутоматизованог циклуса у нашем објекту.

Инсталација на терену:-Механичко поравнање на локацији, верификација прикључења комуналних услуга и тестирање прихватања локације (САТ).

Документација:Комплетна испорука укључује електричне шеме, П&ИД дијаграме, ПЛЦ резервне копије и сертификате о испитивању млина.