ПВД композитна опрема за вакуумско таложење

Ова индустријска ПВД композитна платформа за вакуумско таложење интегрише више техника таложења у окружење једне коморе за депоновање униформних, више{0}}слојних металних, легираних или диелектричних танких филмова. Стандардне архитектуре прихватају серијску обраду за супстрате до 400 мм к 400 мм, са прилагођеном геометријом коморе која је доступна за руковање ролни-то- или 3Д компонентама.

Интеграција више-извора:Комбинује термичко испаравање и магнетронско распршивање у једном циклусу{0}}испумпавања, спречавајући оксидацију интерфејса и смањујући време руковања.

Затворена{0}}Контрола дебљине петље:Директно се повезује са сензорима микробаланса кристала кварца (КЦМ) и оптичким мониторским системима за управљање стопама таложења у реалном времену.

Модуларна коморна архитектура:Прирубнички прикључци омогућавају брзу накнадну уградњу додатних извора испаравања или јонских топова без поновне-машинске обраде тела главне коморе.

Способност нагињања супстрата:РФ/ДЦ извори напајања обезбеђују чишћење јонским бомбардовањем пре таложења, повећавајући адхезију филма на тешким металним и керамичким подлогама.

Аутоматско секвенцирање процеса:ПЛЦ-контролисано управљање рецептима управља запорним вентилима, контролерима протока масе (МФЦ), повећањем снаге и активирањем затварача како би се елиминисале варијације које- изазива оператер.

Вакумски подсистем је структуриран тако да минимизира време циклуса и да се носи са оптерећењем одводног гаса из различитих изворних материјала:

Роугхинг & Роотс пумпе:Пумпе са сувим завртњем елиминишу ризик од повратног{0}}тока уља, испуњавајући захтеве ИСО класе 4 за чисте просторије.

Високо{0}}вакум пумпе: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 Л/с) и опционе криопумпе за велики капацитет пумпања водене{1}}паре.

Праћење притиска:Конфигурација мерача са двоструким{0}}областом (Пирани мерачи за грубу обраду; јонизациони/пенинг мерили за висок вакуум) повезани са сигурносним вентилима да би се спречила атмосферска контаминација филамената.

Детекција цурења:Цурење хелијума-проверено на праг од < 1,0 к 10^-9 Па·м^3/с пре фабричког прихватања.

Материјали за испаравање:
метали:Ал, Цу, Ти, Цр, Ни, Ау, Аг, Пт.

легуре:НиЦр, ТиАл, мете од нерђајућег челика.

Диелектрици / оксиди:СиО2, ТиО2, Ал2О3, ИТО (преко реактивног распршивања или интеграције електронског снопа).

Компатибилност подлоге:
Полупроводничке плочице:Силицијум, ГаАс до 300 мм.

Оптичке подлоге:Оптичка стакла, кварцна и сафирна сочива.

Инжењерска пластика:ПИ, ПЕТ, ПЦ преко{0}}управљања ниском температуром.

Металне подлоге:Металне фолије и жигосане металне компоненте.

Оптоелектроника:Таложење провидних проводљивих оксида (ИТО) и анти-вишеслојних-слојева за додирне панеле и прозоре сензора.

Енергетска електроника:Формирање омских контаката са малим{0}}отпором и слојева баријере на силицијумским и полупроводничким подлогама са широким{1}}појасним размаком.

Функционални премази:Отпорни{0}}на хабање и декоративни метални премази на индустријским затварачима, медицинским имплантатима и потрошачком хардверу.

Конфигурације опреме су прилагођене специфичним производним ограничењима:

Величина коморе:Скалирано од Р&Д стоних јединица (400 мм коцке) до производних система великог{1}}капацитета (1200 мм цилиндричне/кутијасте коморе).

Учитај{0}}интеграцију закључавања:Конфигурација закључавања са једним-ручним пуњењем или двоструком-коморном учитавањем- ради одржавања високог интегритета вакуума у ​​главној зони таложења током континуираних циклуса пуњења.

Управљање топлотом:Водом{0}}хлађени, загрејани степени супстрата (до 600 степени), или криогени столови за хлађење супстрата.

Контролни интерфејс:Интеграција са фабричким СЦАДА или МЕС мрежама преко СЕЦС/ГЕМ или Модбус ТЦП протокола.

Свака јединица пролази ригорозну верификацију пре испоруке:

Тест интегритета вакуума:48-часовни континуирани преглед детекције цурења хелијум масеног спектрометра.

Тест електричне безбедности:Испитивање отпорности изолације, отпорности на диелектричност и континуитета уземљења у складу са ЦЕ/УЛ сигурносним директивама.

Функционално трчање на суво:72-часовни континуирани аутоматизовани циклус свих механичких затварача, контролера протока и генератора енергије.

Покретање прихватања процеса:Фабрички тест прихватања (ФАТ) изведен коришћењем циљних материјала{0}}које је одредио купац да би се верификовала стабилност брзине таложења и уједначеност дебљине.

Пакет документације:Комплетни инжењерски резултати укључујући П&ИД дијаграме, електричне шеме, ПЛЦ изворну логичку архитектуру и корисничке приручнике за одржавање.

На-Пуштању у рад на локацији:Инжењери теренске службе надгледају монтирање, спајање чистих просторија, валидацију комуналних услуга (вода за хлађење, ЦДА, струја) и тестирање прихватљивости локације (САТ).

Обука оператера:Структурисана практична-обука која покрива рутинско одржавање, решавање проблема са вакуумом и уређивање рецепата за процесне инжењере.

Доступност резервних делова:Критичне компоненте (комплети заптивки, заштитне облоге, филаменти, КЦМ кристали) залихе за директну отпрему.